[發明專利]基板夾持裝置及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201910933014.1
• 申請日: 2019-09-29
• 公開（公告）號: CN110512184B
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 劉錦東;胡海芳;張磊;任星利
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發明實施例提供了一種基板夾持裝置及蒸鍍設備，該基板夾持裝置包括：夾持板，包括第一表面及第一表面的四個側邊；多個支撐單元，夾持板的每一側邊上對應設置一個支撐單元，每一支撐單元包括沿該支撐單元所對應的側邊的延伸方向、依次間隔設置的多個支撐桿，支撐桿與夾持板之間在垂直于第一表面的方向上保持預定距離；在支撐桿的面向夾持板的一側，和/或第一表面上對應各支撐桿的位置設置凹凸結構，凹凸結構用于使得支撐桿與夾持板之間形成支撐間隙，支撐間隙在第一方向上的寬度與凹凸結構在第一方向上的高度之和等于預定距離。本發明能夠使基板與掩膜版的下垂方向、下垂量也會更大程度地保持一致，改善基板與掩膜版貼合狀態不好的現象。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種基板夾持裝置及蒸鍍設備。

背景技術

在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機發光二極管)器件生產過程中，Tact Time(節拍時間)是提高產能的重要參數之一，Align(校直)次數是影響Tact Time的一個因素，在整體蒸鍍工藝時間中占據著重要地位。Align次數越多，對位時間將越長，整條生產線的Tact Time將越大，設備單耗就會增大，所以，如何降低Align次數對縮短TactTime至關重要。而影響Align次數的因素也有很多，包括：設備的磨損、平坦度不好、FingerGap(支撐間隙)不合適等多方面因素。

其中，蒸鍍設備中通過基板夾持裝置來夾持基板，基板夾持裝置包括冷卻板(Cooling Plate)和多根支撐桿(Finger)，多根支撐桿沿冷卻板的邊緣依次間隔排列，Finger Gap指的是Aligner(直線性校準器)在Contact位置(設備運動到支撐桿與冷卻板接觸接觸的位置)時，支撐桿與冷卻板之間的間隙，Finger Gap大于基板厚度時，承載玻璃時會起到支撐作用，小于基板厚度時，在承載玻璃時起到夾緊玻璃的作用。

目前，蒸鍍時基板與掩膜版會進行貼合蒸鍍，如果掩膜版與基板的下垂量不相同，就會導致基板對應不同掩膜版位置呈現的偏移情況(PPA)不同，從而導致不同位置發生的不良情況也不相同。在目前生產中經常發生局部位置發生邊緣混色，條混等混色類不良，經過調查均與PPA偏移相關，PPA偏移是由于掩膜版與基板貼合狀態不好導致。

對于長短邊不同的基板來說，長邊的下垂量會大于短邊的下垂量，在相關技術中通常都是采用基板短邊夾緊的方式來夾持基板，例如，在基板的短邊對應一側，設計FingerGap相同且均小于基板厚度，這樣，可以更大程度保持基板與掩膜版下垂方向一致，使得掩膜版和基板在蒸鍍時下垂量盡可能一致，以保證產品的Uni和PPA的穩定性。但是即使這樣，仍然存在由于掩膜版與基板下垂量不同，導致兩者貼合程度不同，尤其是，基板與掩膜版中間位置貼合好，兩端貼合不好，從而導致不同位置呈現的PPA也不相同，引起混色不良。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基板夾持裝置及蒸鍍設備，可以改善掩膜版與基板下垂量不同而貼合狀態不好的現象，從而改善混色不良問題。

本發明所提供的技術方案如下：

本發明實施例一方面提供一種基板夾持裝置，包括：

夾持板，所述夾持板包括第一表面及所述第一表面的四個側邊；

及，多個支撐單元，所述夾持板的每一所述側邊上對應設置一個所述支撐單元，每一所述支撐單元包括沿該支撐單元所對應的側邊的延伸方向、依次間隔設置的多個支撐桿，所述支撐桿與所述夾持板之間在垂直于所述第一表面的方向上保持預定距離；

其中，在所述支撐桿的面向所述夾持板的一側，和/或所述第一表面上對應各所述支撐桿的位置設置凹凸結構，所述凹凸結構用于使得所述支撐桿與所述夾持板之間形成支撐間隙，

其中所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度與所述凹凸結構在所述第一方向上的高度之和等于所述預定距離。