[發明專利]基板夾持裝置及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201910933014.1
• 申請日: 2019-09-29
• 公開（公告）號: CN110512184B
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 劉錦東;胡海芳;張磊;任星利
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

1.一種基板夾持裝置，其特征在于，包括：

夾持板，所述夾持板包括第一表面及所述第一表面的四個側邊；

及，多個支撐單元，所述夾持板的每一所述側邊上對應設置一個所述支撐單元，每一所述支撐單元包括沿該支撐單元所對應的側邊的延伸方向、依次間隔設置的多個支撐桿，所述支撐桿與所述夾持板之間在垂直于所述第一表面的方向上保持預定距離；

其中，在所述支撐桿的面向所述夾持板的一側，和/或所述第一表面上對應各所述支撐桿的位置設置凹凸結構，所述凹凸結構用于使得所述支撐桿與所述夾持板之間形成支撐間隙，

其中所述支撐間隙在第一方向上的寬度與所述凹凸結構在所述第一方向上的高度之和等于所述預定距離。

2.根據權利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于，

每一所述支撐單元包括位于該支撐單元所對應的側邊的兩端位置上的兩個端部支撐桿、及位于兩個所述端部支撐桿之間的多個中部支撐桿，

每一所述支撐單元中，所述端部支撐桿所對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度均小于或者等于所述基板的厚度。

3.根據權利要求2所述的基板夾持裝置，其特征在于，

所述支撐單元中各所述中部支撐桿所對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度均相同，各所述中部支撐桿所對應的所述凹凸結構在所述第一方向上的高度均相同；

或者，所述支撐單元中各所述中部支撐桿所對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度由該支撐單元對應的側邊的中心向兩端逐漸變化，各所述中部支撐桿所對應的所述凹凸結構在所述第一方向上的高度由該支撐單元對應的側邊的中心向兩端呈階梯狀變化。

4.根據權利要求3所述的基板夾持裝置，其特征在于，

所述夾持板的四個側邊包括兩個長邊和兩個短邊，所述長邊所對應的支撐單元為長邊支撐單元，所述短邊所對應的支撐單元為短邊支撐單元；

所述長邊支撐單元中，各所述中部支撐桿所對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度均相同，且均大于或等于所述基板的厚度，各所述中部支撐桿所對應的所述凹凸結構在所述第一方向上的高度均相同；

所述凹凸結構設置在所述夾持板的所述第一表面上時，所述短邊支撐單元中，各所述中部支撐桿所對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度，均小于所述端部支撐桿所對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度，并從該短邊的中心向兩端逐漸增大；多個所述支撐桿在所述第一方向上的高度呈階梯狀變化，并從該短邊的中心向兩端逐漸減??；

所述凹凸結構設置在所述支撐桿的面向所述夾持板的一側時，所述短邊支撐單元中，各所述中部支撐桿所對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度，均大于所述端部支撐桿所對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度，并從該短邊的中心向兩端逐漸減小，多個所述支撐桿在所述第一方向上的高度呈階梯狀變化，從該短邊的中心向兩端逐漸增大。

5.根據權利要求4所述的基板夾持裝置，其特征在于，

所述基板的厚度為0.1～0.5mm；

所述長邊支撐單元中，所述端部支撐桿所對應的支撐間隙在所述第一方向上的寬度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撐桿對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度比所述基板的厚度大0.05～0.15mm；

所述凹凸結構設置在所述夾持板的所述第一表面上時，所述短邊支撐單元中，所述端部支撐桿所對應的支撐間隙在所述第一方向上的寬度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撐桿對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度從該短邊的中心向兩端以0.05mm的差值遞增，多個所述支撐桿在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈階梯狀變化，并從該短邊的中心向兩端逐漸減小；

所述凹凸結構設置在所述支撐桿的面向所述夾持板的一側時，所述短邊支撐單元中，所述端部支撐桿所對應的支撐間隙在所述第一方向上的寬度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撐桿對應的所述支撐間隙在所述第一方向上的寬度從該短邊的中心向兩端以0.05mm的差值遞減，多個所述支撐桿在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈階梯狀變化，從該短邊的中心向兩端逐漸增大。