[發明專利]一種顯微鏡檢測與激光切割修復模組、方法及裝置

在審

• 申請號: 201910930166.6
• 申請日: 2019-09-29
• 公開（公告）號: CN110577372A
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 馬觀嵐
• 申請（專利權）人: 江蘇才道精密儀器有限公司
• 主分類號: C03C23/00
• 分類號: C03C23/00;B23K26/38;G01N21/88;G01N21/958
• 代理公司: 32224 南京縱橫知識產權代理有限公司
• 代理人: 韓賽

本發明公開一種顯微鏡檢測與激光切割修復模組，包括基板、滑動板、承載板、顯微鏡、相機、激光切割器和驅動裝置；基板的一側板面設有直線軌道，滑動板通過直線軌道與基板構成沿直線的滑動連接；承載板固設于滑動板上，驅動裝置固設于基板上，其驅動部與承載板固連；顯微鏡、相機和激光切割器均固設于承載板上，顯微鏡的物鏡的軸線和激光切割器的發射頭的軸線均能夠平行于承載板的移動方向；顯微鏡的物鏡與相機的輸入端建立光線通道以供相機的成像芯片成像。本發明具有的有益效果：通過將檢測和修復合二為一進行系統集成，實現了同臺設備同時運行的目的，顯著提高了作業效率和作業精度。

技術領域

本發明屬于產品檢測技術領域，具體涉及一種顯微鏡檢測與激光切割修復模組、方法及裝置。

背景技術

現有的產品檢測，例如液晶玻璃產品檢測時，為了更全面的檢測產品瑕疵，通常采用顯微鏡進行檢測面的放大，從而對斷線、粗糙度、導電粒子分布密度和大小等不良現象進行有效的檢出，從而便于及時有效的修復，提高產品良品率。修復過程通常采用精度較高的激光裝置完成，系統根據檢測結果依照相應的修復程序進行修復。

但是由于目前的檢測系統和修復系統為獨立的兩套系統，因此導致兩個過程不能很好地匹配，存在效率低下的問題。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術中的不足，提供一種顯微鏡檢測與激光切割修復模組、方法及裝置，通過將檢測和修復合二為一進行系統集成，實現了同臺設備同時運行的目的，顯著提高了作業效率和作業精度。

為解決現有技術問題，本發明公開了一種顯微鏡檢測與激光切割修復模組，包括基板、滑動板、承載板、顯微鏡、相機、激光切割器和驅動裝置；所述基板的一側板面設有直線軌道，所述滑動板通過所述直線軌道與所述基板構成沿直線的滑動連接；所述承載板固設于所述滑動板上，所述驅動裝置固設于所述基板上，其驅動部與所述承載板固連；所述顯微鏡、相機和所述激光切割器均固設于所述承載板上，所述顯微鏡的物鏡的軸線和所述激光切割器的發射頭的軸線均能夠平行于所述承載板的移動方向；所述顯微鏡的物鏡與所述相機的輸入端建立光線通道以供所述相機的成像芯片成像。

進一步地，

所述驅動裝置包括電機、絲杠、絲杠螺母和聯軸器，所述電機固設于所述基板上，其主軸通過所述聯軸器與所述絲杠的端部連接；所述絲杠的另一端轉動安裝于所述基板上，所述絲杠螺母固設于所述承載板上，所述絲杠與所述絲杠螺母的中心孔構成螺紋配合。

進一步地，

還包括上、下限位器，所述上、下限位器固設于所述基板上，用于限制所述滑動板或所述承載板的移動行程。

進一步地，

所述上、下限位器具有能夠受到外力作用而產生控制所述驅動裝置的信號的觸發端。

進一步地，

所述顯微鏡通過顯微鏡固定座固設于所述承載板上，所述激光切割器通過激光固定座固設于所述承載板上。

本發明還提供了一種顯微鏡檢測與激光切割修復方法，包括如下步驟：

固定產品到檢測工位；

移動顯微鏡的物鏡對準產品，然后調整到合適的放大倍數對產品的瑕疵進行檢測，同時通過相機生成對應的檢測圖像；

根據檢測結果控制移動激光切割器的發射頭對產品進行切割、修復；

通過顯微鏡對經過切割修復的產品進行檢測，判斷是否合格。

本發明還提供了一種顯微鏡檢測與激光切割修復裝置，包括兩軸龍門架和上述的一種顯微鏡檢測與激光切割修復模組；所述顯微鏡檢測與激光切割修復模組的基板固設于所述兩軸龍門架的移動端從而使所述顯微鏡檢測與激光切割修復裝置能夠三軸運動。