[發(fā)明專(zhuān)利]一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)模組、方法及裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910930166.6
• 申請(qǐng)日: 2019-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110577372A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬觀嵐
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇才道精密儀器有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C03C23/00
• 分類(lèi)號(hào): C03C23/00;B23K26/38;G01N21/88;G01N21/958
• 代理公司: 32224 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 韓賽

1.一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)模組，其特征在于：

包括基板（6）、滑動(dòng)板（5）、承載板（3）、顯微鏡（1）、相機(jī)、激光切割器（2）和驅(qū)動(dòng)裝置；所述基板（6）的一側(cè)板面設(shè)有直線軌道（6.1），所述滑動(dòng)板（5）通過(guò)所述直線軌道（6.1）與所述基板（6）構(gòu)成沿直線的滑動(dòng)連接；所述承載板（3）固設(shè)于所述滑動(dòng)板（5）上，所述驅(qū)動(dòng)裝置固設(shè)于所述基板（6）上，其驅(qū)動(dòng)部與所述承載板（3）固連；所述顯微鏡（1）、相機(jī)和所述激光切割器（2）均固設(shè)于所述承載板（3）上，所述顯微鏡（1）的物鏡（1.2）的軸線（I）和所述激光切割器（2）的發(fā)射頭（2.1）的軸線（II）均能夠平行于所述承載板（3）的移動(dòng)方向（III）；所述顯微鏡（1）的物鏡（1.2）與所述相機(jī)的輸入端建立光線通道以供所述相機(jī)的成像芯片成像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)模組，其特征在于：

所述驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)（10）、絲杠、絲杠螺母和聯(lián)軸器（7），所述電機(jī)（10）固設(shè)于所述基板（6）上，其主軸通過(guò)所述聯(lián)軸器（7）與所述絲杠的端部連接；所述絲杠的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述基板（6）上，所述絲杠螺母固設(shè)于所述承載板（3）上，所述絲杠與所述絲杠螺母的中心孔構(gòu)成螺紋配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)模組，其特征在于：

還包括上、下限位器（9、11），所述上、下限位器（9、11）固設(shè)于所述基板（6）上，用于限制所述滑動(dòng)板（5）或所述承載板（3）的移動(dòng)行程。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)模組，其特征在于：

所述上、下限位器（9、11）具有能夠受到外力作用而產(chǎn)生控制所述驅(qū)動(dòng)裝置的信號(hào)的觸發(fā)端。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)模組，其特征在于：

所述顯微鏡（1）通過(guò)顯微鏡固定座（4）固設(shè)于所述承載板（3）上，所述激光切割器（2）通過(guò)激光固定座（12）固設(shè)于所述承載板（3）上。

6.一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)方法，其特征在于：包括如下步驟：

固定產(chǎn)品到檢測(cè)工位；

移動(dòng)顯微鏡（1）的物鏡（1.2）對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品，然后調(diào)整到合適的放大倍數(shù)對(duì)產(chǎn)品的瑕疵進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)通過(guò)相機(jī)生成對(duì)應(yīng)的檢測(cè)圖像；

根據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制移動(dòng)激光切割器（2）的發(fā)射頭（2.1）對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行切割、修復(fù)；

通過(guò)顯微鏡（1）對(duì)經(jīng)過(guò)切割修復(fù)的產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)，判斷是否合格。

7.一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)裝置，其特征在于：包括兩軸龍門(mén)架和如權(quán)利要求1至5任一所述的一種顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)模組；所述顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)模組的基板（6）固設(shè)于所述兩軸龍門(mén)架的移動(dòng)端從而使所述顯微鏡檢測(cè)與激光切割修復(fù)裝置能夠三軸運(yùn)動(dòng)。