[發(fā)明專利]在ITO玻璃表面制備納米結(jié)構(gòu)WO3

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910925076.8
• 申請(qǐng)日: 2019-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN110510890B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭興伍;高晨璟;聶樂(lè)文;彭立明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類號(hào): C03C17/34
• 分類號(hào): C03C17/34
• 代理公司: 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

1.一種在ITO玻璃表面制備納米結(jié)構(gòu)WO₃薄膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：

A、在ITO玻璃上用電沉積法制備WO₃種子層：所述ITO玻璃作陰極，不溶性陽(yáng)極作為對(duì)電極，使ITO玻璃在電鍍液中電沉積得到WO₃種子層；

B、酸洗；

C、純水洗并干燥；

D、溶劑熱法制備納米結(jié)構(gòu)WO₃薄膜并退火；

所述電沉積法的操作條件為恒流或脈沖電流，電流密度0.1～10mA/cm²，電鍍時(shí)間5～600s；

所述不溶性陽(yáng)極包括石墨或鉑電極；

步驟A所述電鍍液包括濃度為0.01～2.21mol/L的鎢酸鹽溶液；步驟A中所述電鍍液還包括濃度為0～0.1mol/L的無(wú)機(jī)酸，所述電鍍液的pH大于或等于7；

所述步驟B具體包括：將經(jīng)過(guò)步驟A得到的ITO玻璃在0.001～1mol/L的無(wú)機(jī)酸溶液中清洗；

所述無(wú)機(jī)酸包括硫酸或鹽酸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在ITO玻璃表面制備納米結(jié)構(gòu)WO₃薄膜的方法，其特征在于，所述不溶性陽(yáng)極與ITO玻璃的面積比大于或等于5:1。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在ITO玻璃表面制備納米結(jié)構(gòu)WO₃薄膜的方法，其特征在于，所述步驟D具體包括：將水洗并干燥后的ITO玻璃放入反應(yīng)釜，在反應(yīng)釜內(nèi)加入乙醇和鎢源，反應(yīng)釜填充度60％～70％；反應(yīng)釜溫度大于等于150℃，保溫16～30h后取出得到納米WO_3-X薄膜；退火得到納米WO₃薄膜，所述退火操作的溫度為300～500℃，退火時(shí)間2～6h。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的在ITO玻璃表面制備納米結(jié)構(gòu)WO3薄膜的方法，所述鎢源包括鎢酸、鎢酸鹽、羰基鎢、氯化鎢、過(guò)氧聚鎢酸中的一種或幾種的混合。