[發(fā)明專利]管道清理系統(tǒng)及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910910122.7
• 申請(qǐng)日: 2019-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN112547714A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳俊斌;徐建燎;肖亦文;張輝城;莊增濱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門佰歐環(huán)境智能科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B9/049
• 分類號(hào): B08B9/049;B08B9/051
• 代理公司: 深圳市博銳專利事務(wù)所 44275
• 代理人: 歐陽燕明

本發(fā)明公開了管道清理系統(tǒng)及方法，包括管道爬行機(jī)器人和負(fù)壓設(shè)備，管道爬行機(jī)器人與負(fù)壓設(shè)備連接；管道爬行機(jī)器人包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、第一旋轉(zhuǎn)擺臂以及粉末攪松機(jī)構(gòu)；旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過輸出軸與第一旋轉(zhuǎn)擺臂連接，第一旋轉(zhuǎn)擺臂上設(shè)置有耐腐蝕塑制刮刀；粉末攪松機(jī)構(gòu)包括至少兩根長度不一且錯(cuò)開角度的第二旋轉(zhuǎn)擺臂，第二旋轉(zhuǎn)擺臂的一端與輸出軸連接且另一端上設(shè)置有耐腐蝕塑制刮刀。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)清除粘附在管壁上的粉末及攪松管道內(nèi)堆積粉末的功能，再通過負(fù)壓設(shè)備進(jìn)行吸附，以實(shí)現(xiàn)在管道長距離清理的同時(shí)向外輸送粉末，即實(shí)現(xiàn)危廢粉末的自動(dòng)清理和收集，相對(duì)于傳統(tǒng)人工收集方式來說，收集效率更高、安全隱患更低且清理潔凈度更高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及管道清理技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及管道清理系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)

化學(xué)氣相沉積(CVD)是一種用來沉積多種材料的技術(shù)且廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中。它是借由氣體混合物發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)，在基板表面上沉積一層固態(tài)化合物的過程，可以用來制造導(dǎo)體和半導(dǎo)體，比如在TFT工藝技術(shù)中，主要通過CVD技術(shù)形成非金屬薄膜，包括SiN等絕緣膜、非晶硅膜和n+非晶硅膜等。

CVD系統(tǒng)管道內(nèi)部堆積物成份復(fù)雜，主要成份為危廢物氟化硅，大量堆積在管道底部，且管壁以及上方都粘有污染物，同時(shí)有廢氣如甲烷、硫化氫等有毒氣體排入管道中，管道內(nèi)部環(huán)境極其惡劣。管道都是離地4米左右高空懸掛，長短不一，大小各異，復(fù)雜條件造成管道的清理困難。

管道長，堆積物多，目前只采用人工收集危廢粉末的方式。但因?yàn)榍謇碓摴艿谰鶎俑呖兆鳂I(yè)，且管道內(nèi)環(huán)境惡劣，所以存在較大的安全隱患。考慮到惡劣環(huán)境對(duì)清潔工人身體的傷害，采用分批次人工輪流清理制，限定工人每次清理不超過20分鐘。即現(xiàn)有的人工收集危廢粉末的方法存在收集效率低且安全隱患高等問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：提供管道清理系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)危廢粉末的自動(dòng)清理和收集，減少安全隱患，提高收集效率。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

管道清理系統(tǒng)，包括管道爬行機(jī)器人和負(fù)壓設(shè)備，所述管道爬行機(jī)器人與所述負(fù)壓設(shè)備連接；

所述管道爬行機(jī)器人包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、第一旋轉(zhuǎn)擺臂以及粉末攪松機(jī)構(gòu)；

所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過輸出軸與所述第一旋轉(zhuǎn)擺臂連接，所述第一旋轉(zhuǎn)擺臂上設(shè)置有緊貼待清理管道的內(nèi)壁的耐腐蝕塑制刮刀；

所述粉末攪松機(jī)構(gòu)包括至少兩根長度不一且錯(cuò)開角度的第二旋轉(zhuǎn)擺臂，所述第二旋轉(zhuǎn)擺臂的一端與所述輸出軸連接且另一端上設(shè)置有耐腐蝕塑制刮刀。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的另一種技術(shù)方案為：

管道清理方法，其特征在于，包括步驟：

S1、至少兩根長度不一且錯(cuò)開角度的第二旋轉(zhuǎn)擺臂構(gòu)成螺旋麻花鉆結(jié)構(gòu)，通過所述第二旋轉(zhuǎn)擺臂的耐腐蝕塑制刮刀將待清理管道內(nèi)的堆積粉末進(jìn)行攪松；

S2、第一旋轉(zhuǎn)擺臂上的耐腐蝕塑制刮刀在旋轉(zhuǎn)時(shí)對(duì)粘附在待清理管道的內(nèi)壁的粉末進(jìn)行刮除。

本發(fā)明的有益效果在于：管道清理系統(tǒng)，管道爬行機(jī)器人在待清理管道內(nèi)爬行，至少兩根長度不一且錯(cuò)開角度的第二旋轉(zhuǎn)擺臂構(gòu)成螺旋麻花鉆結(jié)構(gòu)，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的帶動(dòng)下，鉆進(jìn)待清理管道內(nèi)堆積的粉末，將成堆的結(jié)塊粉末攪松，以促進(jìn)粉末的有效吸出，之后通過第一旋轉(zhuǎn)擺臂上的耐腐蝕塑制刮刀的旋轉(zhuǎn)，將粘附在待清理管道的內(nèi)壁的粉末進(jìn)行刮除，實(shí)現(xiàn)清除粘附在管壁上的粉末及攪松管道內(nèi)堆積粉末的功能，再通過負(fù)壓設(shè)備進(jìn)行吸附，從而實(shí)現(xiàn)在管道長距離清理的同時(shí)向外輸送粉末，即實(shí)現(xiàn)危廢粉末的自動(dòng)清理和收集，相對(duì)于傳統(tǒng)人工收集方式來說，收集效率更高、安全隱患更低且清理潔凈度更高。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例涉及的管道爬行機(jī)器人的立體示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例涉及的管道爬行機(jī)器人的正面示意圖；