[發明專利]半導體設備報警管理系統

有效

• 申請號: 201910900136.0
• 申請日: 2019-09-23
• 公開（公告）號: CN110827523B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發明（設計）人: 周法福;黃揚君;肖托
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G08B25/08
• 分類號: G08B25/08
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

本發明公開了一種半導體設備報警管理系統，包括：多個報警客戶端、報警服務器端，其中所述多個報警客戶端分別配置于半導體設備的多個功能控制模塊中，用于在所述半導體設備出現異常時產生報警信息，并通過統一的報警接口將所述報警信息發送至所述報警服務器端；所述報警服務器端配置于半導體設備的中心控制模塊中，用于在用戶界面中顯示接收到的所述報警信息。實現對半導體設備各種報警資源的綜合管理與調度、有效利用系統資源與軟件開發成本以及提高半導體設備安全性和穩定性。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，更具體地，涉及一種半導體設備報警管理系統。

背景技術

在交互式管理系統中，常用的自動化控制系統所采用報警管理方法多數是針對某一個具體的模塊，每一個模塊都在自身內部采用報警異常處理方法，以達到系統自我修復的目的。

在半導體設備中，同一臺設備的控制系統軟件往往包括多個不同控制模塊，多個不同的控制模塊均采用一套相同的報警系統，但多個不同的控制模塊分別獨立運行。同時，不同控制模塊可能運行在一臺或多臺計算機上，現有的報警異常處理方法在這種分布式計算中缺點表現尤為明顯，對運行在多個計算機中(或運行在一臺計算機中)的多個模塊的異常處理缺乏統一管理，同時也無法對各種相似的異常進行復用，分布在不同模塊上的異常發生與處理方法無法進行統一的調度，同時如果硬件系統變更，相應的軟件異常處理系統也需要變更，這造成大量現有資源的浪費與軟件資源無法復用，造成軟件開發成本的升級。同時，模塊根據自身內部采用自動處理異常報警會有一定概率出現程序錯誤導致采用錯誤的處理方法，從而無法正確的處理異常導致設備出現安全隱患和運行的穩定性。

因此需要提出一種能夠實現對半導體設備各種報警資源的綜合管理與調度、有效利用系統資源與軟件開發成本以及能夠提高半導體設備安全性和穩定性的報警管理系統。

發明內容

本發明提出一種半導體設備報警管理系統，實現對半導體設備各種報警資源的綜合管理與調度，有效利用系統資源，降低軟件開發成本以及提高半導體設備安全性和穩定性。

本發明提出了一種半導體設備報警管理系統，其特征在于，包括：多個報警客戶端、報警服務器端，其中

所述多個報警客戶端分別配置于半導體設備的多個功能控制模塊中，用于在所述半導體設備出現異常時產生報警信息，并通過統一的報警接口將所述報警信息發送至所述報警服務器端；

所述報警服務器端配置于半導體設備的中心控制模塊中，用于在用戶界面中顯示接收到的所述報警信息。

優選地，所述報警服務器端，還用于在所述用戶界面中顯示針對所述報警信息的多個操作選項，并響應用戶的操作，將用戶選擇的操作選項通過所述報警接口反饋給發送了所述報警信息的報警客戶端；

所述報警客戶端，還用于接收該操作選項，并在預先封裝在內部的多個報警處理策略中確定與該操作選項對應的報警處理策略，并執行該報警處理策略。

優選地，所述操作選項包括確認操作、恢復操作、清除操作。

優選地，所述功能控制模塊包括傳輸控制模塊、工藝控制模塊，所述中心控制模塊包括集束型控制模塊。

優選地，所述報警客戶端，還用于預先注冊所述報警服務器端的遠程代理，并基于所述遠程代理通過所述報警接口將所述報警信息發送至所述報警服務器端。

優選地，所述報警服務器端，還用于基于用戶的訂閱設置判斷是否顯示所述報警信息，并在所述報警信息符合所述訂閱設置時，在所述用戶界面上顯示所述報警信息。

優選地，還包括數據庫，所述數據庫與所述報警服務器端連接。

優選地，所述中心控制模塊、所述多個功能控制模塊為安裝在所述半導體設備中的控制程序，所述中心控制模塊用于對所述多個功能控制模塊進行調度和控制。