[發明專利]半導體設備報警管理系統

有效

• 申請號: 201910900136.0
• 申請日: 2019-09-23
• 公開（公告）號: CN110827523B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發明（設計）人: 周法福;黃揚君;肖托
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G08B25/08
• 分類號: G08B25/08
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種半導體設備報警管理系統，其特征在于，包括：多個報警客戶端、報警服務器端，其中

所述多個報警客戶端分別配置于半導體設備的多個功能控制模塊中，用于在所述半導體設備出現異常時產生報警信息，并通過統一的報警接口將所述報警信息發送至所述報警服務器端；

所述報警服務器端配置于半導體設備的中心控制模塊中，用于在用戶界面中顯示接收到的所述報警信息；

所述中心控制模塊、所述多個功能控制模塊為安裝在所述半導體設備中的控制程序，所述中心控制模塊用于對所述多個功能控制模塊進行調度和控制；

所述報警服務器端還用于在所述用戶界面中顯示針對所述報警信息的多個操作選項，并響應用戶的操作，將用戶選擇的操作選項通過所述報警接口反饋給發送了所述報警信息的報警客戶端；

所述報警客戶端還用于接收該操作選項，并在預先封裝在內部的多個報警處理策略中確定與該操作選項對應的報警處理策略，并執行該報警處理策略。

2.根據權利要求1所述的半導體設備報警管理系統，其特征在于，所述操作選項包括確認操作、恢復操作、清除操作。

3.根據權利要求1所述的半導體設備報警管理系統，其特征在于，所述功能控制模塊包括傳輸控制模塊、工藝控制模塊，所述中心控制模塊包括集束型控制模塊。

4.根據權利要求1-3任一項所述的半導體設備報警管理系統，其特征在于，所述報警客戶端，還用于預先注冊所述報警服務器端的遠程代理，并基于所述遠程代理通過所述報警接口將所述報警信息發送至所述報警服務器端。

5.根據權利要求1-3任一項所述的半導體設備報警管理系統，其特征在于，所述報警服務器端，還用于基于用戶的訂閱設置判斷是否顯示所述報警信息，并在所述報警信息符合所述訂閱設置時，在所述用戶界面上顯示所述報警信息。

6.根據權利要求1所述的半導體設備報警管理系統，其特征在于，還包括數據庫，所述數據庫與所述報警服務器端連接。

7.根據權利要求1所述的半導體設備報警管理系統，其特征在于，所述多個報警客戶端與所述報警服務器端構成C/S架構，所述報警客戶端與所述報警服務器端之間基于Windows通訊基礎WCF技術進行通訊。