[發明專利]聲波裝置

有效

• 申請號: 201910897423.0
• 申請日: 2019-09-23
• 公開（公告）號: CN110957988B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發明（設計）人: 畑山和重;柿田直輝;黑柳琢真
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: H03H9/05
• 分類號: H03H9/05;H03H9/17
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 劉久亮;黃綸偉

1.一種聲波裝置，該聲波裝置包括：

第一基板，該第一基板具有第一表面和第二表面，所述第二表面是所述第一基板的與所述第一表面相反的表面；

聲波元件，該聲波元件位于所述第一表面上；

布線部分，該布線部分通過穿通孔將所述聲波元件和金屬部分電連接，所述金屬部分位于所述第二表面上，所述穿通孔穿透所述第一基板；

金屬密封部分，該密封部分位于所述第一表面上以便包圍所述聲波元件，該密封部分從平面圖看與所述穿通孔的至少一部分交疊，并且將所述聲波元件密封在氣隙中；以及

第一絕緣膜，該第一絕緣膜位于所述金屬密封部分和所述布線部分之間，并且使所述金屬密封部分和所述布線部分彼此絕緣，

其中，

所述第一基板包括具有所述第二表面的支承基板和具有所述第一表面的壓電基板，所述壓電基板結合在所述支承基板上，

所述聲波裝置還包括環形金屬層，所述環形金屬層包圍所述聲波元件并且在所述支承基板上位于去除了所述壓電基板的區域中，所述金屬密封部分結合到所述環形金屬層，

所述穿通孔穿透所述環形金屬層，并且

所述壓電基板位于所述穿通孔和所述環形金屬層之間。

2.根據權利要求1所述的聲波裝置，其中，

所述環形金屬層被定位成從平面圖看包圍所述穿通孔，并且從平面圖看所述壓電基板位于所述環形金屬層和所述穿通孔之間，

所述布線部分和所述環形金屬層在所述第一基板的厚度方向上交疊，并且

所述聲波裝置還包括第二絕緣膜，所述第二絕緣膜在所述布線部分和所述環形金屬層的交疊區域中位于所述布線部分和所述環形金屬層之間，所述第二絕緣膜使所述布線部分與所述環形金屬層彼此絕緣。

3.根據權利要求1或2所述的聲波裝置，該聲波裝置還包括：

穿透電極，該穿透電極穿透所述支承基板，并且將所述環形金屬層和所述第二表面電連接，

其中，所述金屬密封部分電連接到所述環形金屬層。

4.根據權利要求1或2所述的聲波裝置，該聲波裝置還包括：

結合層，該結合層位于所述第一絕緣膜和所述環形金屬層上，該結合層在沒有設置所述第一絕緣膜的區域中與所述環形金屬層電連接，所述結合層與所述密封部分結合，其中，

所述金屬密封部分是焊料密封部分，并且

所述金屬密封部分和所述結合層結合的區域在所述第一基板的厚度方向上與所述穿通孔的至少一部分交疊。

5.根據權利要求1或2所述的聲波裝置，所述聲波裝置還包括：

第二基板，該第二基板隔著所述氣隙面對所述第一基板，

其中，所述金屬密封部分被設置成包圍所述第二基板。

6.根據權利要求1或2所述的聲波裝置，所述聲波裝置還包括：

第一濾波器，該第一濾波器電連接在公共端子和第一端子之間；以及

第二濾波器，該第二濾波器電連接在所述公共端子和第二端子之間，其中，

所述第一濾波器和所述第二濾波器中的至少一個包括所述聲波元件，并且

所述公共端子、所述第一端子和所述第二端子中的每一個都是所述金屬部分。

7.根據權利要求6所述的聲波裝置，其中，

所述第一端子和所述第二端子位于所述第二表面上，

所述穿通孔包括聯接到所述第一端子的第一穿通孔和聯接到所述第二端子的第二穿通孔，

所述第一穿通孔位于所述第一基板的一對側部分中的第一側部分中，所述一對側部分彼此面對，并且

所述第二穿通孔位于所述一對側部分中的第二側部分中。

8.根據權利要求1或2所述的聲波裝置，所述聲波裝置還包括：

封蓋，該封蓋位于所述金屬密封部分上，所述封蓋和所述密封部分將所述聲波元件密封在所述氣隙中。