[發明專利]一種組合式真空鍍膜系統的生產方法

在審

• 申請號: 201910897416.0
• 申請日: 2019-09-23
• 公開（公告）號: CN110453178A
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: 張海富
• 申請（專利權）人: 江蘇坤載新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C14/26;C23C14/30;C23C14/34
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• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種組合式真空鍍膜系統的生產方法，包括腔室（10），Z和旋轉操縱器單元，靶支架單元（50），加熱元件單元（40），輻射屏蔽單元（11,11a，103）和單位（100,101,102）基于涂覆方法。在此，組合涂覆真空系統的涂覆方法使用濺射源，蒸發源，熱源，電子束源，噴射池，坩堝和襯里，離子蝕刻源和激光沉積源方法。提供一種生產組合式真空鍍膜系統的方法，該方法僅在具有從單個系統獲得的優點的情況下應用于組合式系統，并保持在組合式涂覆系統中建立的最佳狀態。

技術領域

本發明涉及真空鍍膜技術領域，具體為一種組合式真空鍍膜系統的生產方法。

背景技術

本發明試圖將每個獨立涂層領域的優點最佳地配置到一個集成涂層系統中。特別地，本發明的另一個目的是安裝輻射防護罩以防止腔室的污染和熱擴散，并分別根據涂覆目的和材料（基質膠）的特性以及操作的便利性來選擇和更換靶支架。通過各種方法將新的組件（例如選擇腔室形狀以最大化性能）應用于各種不同方法的實驗研究和生產，以實現第三次涂層開發。

發明內容

本發明涉及一種集成涂層系統，其中每個獨立的系統被捆綁到一個單獨的腔室中，例如電子束腔室，濺射腔室，熱蒸發腔室等。它涉及一種配置和操作的系統制造方法。

本發明的集成涂覆系統能夠通過使用第三種材料，即另一種涂覆方法來獲得目標，該第三種材料在保持每個獨立涂覆系統的特性的同時，不會在一般涂覆系統中獲得，并且污染了腔室內部。盡量保持克制。另外，通過更換輻射屏蔽罩，可以減少清潔時間并減少人力浪費，并且由于腔室的形狀適用于箱門式，因此可以輕松進行A/S。

另外，本發明的特征之一是操縱器的安裝，該操縱器能夠隨著目標支架的旋轉和射流（Z）運動而移動。這是因為在涂覆方法中，由于對目標的瞄準和位置（距離）的選擇非常重要，因此可以通過改變傳統的位置固定方式來實現最佳涂覆。另外，在使用熱源時，高壓饋電回轉經過專門設計來改變位置調節，并且可以安裝任何類型的熱源，并且可以上下調節快門。確實如此。

另外，在進行常規靶加熱器的安裝以完全通過固定（固定）來防止應用的情況下，將根據涂層性能選擇本發明的生產設備并通過安裝PBN加熱器，SiC加熱器，FeCrAl加熱器等來代替。

另外，在安裝靶架時，本發明可以根據靶的特性來安裝普通的靶架，并且在對腔室大氣溫度或溫度敏感的靶的情況下，可以通過將其變為水冷套型來進行安裝，測試，研究和生產。

如上所述，在本發明中，在每個獨立設備中獲得的涂覆方法僅利用了集成的優勢，從而降低了設備采購成本和制造成本，并通過共涂覆獲得了第三樣品，并且還在產品開發，研究和生產的過程中。本發明將具有防止由于遷移引起的質量下降的效果。

附圖說明

圖1是根據本發明實施例的安裝在集成真空鍍膜系統的腔室中的組件的視圖；

圖2是本發明的一些組件的剖視圖；

圖3是制造本發明的一些部件的剖視圖；

圖4是圖3的部件安裝制造圖；

圖5是圖2的部件安裝制造圖；

圖6是示出根據本發明的部件的安裝的剖視圖；

圖7是本發明的部件的截面圖；

圖8是本發明的構造和制造截面圖。