[發明專利]基因測序基板及其制作方法和基因測序芯片

在審

• 申請號: 201910889093.0
• 申請日: 2019-09-19
• 公開（公告）號: CN110591903A
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 劉震;谷新;郭康;張笑;譚偉;路彥輝;李多輝;周雪原
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C12M1/34
• 分類號: C12M1/34;C03C17/36;C03C17/38
• 代理公司: 11330 北京市立方律師事務所
• 代理人: 張筱寧

1.一種基因測序基板，其特征在于，包括：

襯底；

金屬反射層，位于所述襯底的一面上；

功能層，位于所述金屬反射層遠離所述襯底的一面上；以及

多個貫穿所述功能層的微孔，所述微孔作為反應池。

2.根據權利要求1所述的基因測序基板，其特征在于，所述功能層的材料包括壓印膠或無機硅材料。

3.根據權利要求1所述的基因測序基板，其特征在于，所述金屬反射層的材料包括鋁、銀、鉬、鈦中的一種或組合。

4.根據權利要求1所述的基因測序基板，其特征在于，所述襯底為玻璃襯底或石英襯底。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的基因測序基板，其特征在于，還包括：

位于所述金屬反射層與所述功能層之間的透明保護層，所述透明保護層的材料包括氧化銦錫和/或氧化銦鋅。

6.一種基因測序芯片，其特征在于，包括權利要求1-5中任一項所述的基因測序基板以及裝配在所述微孔內的微珠，所述微珠攜帶有生物探針。

7.一種基因測序基板的制作方法，其特征在于，包括：

在襯底上形成金屬反射層；

在所述金屬反射層上形成功能層，并對所述功能層進行圖形化處理以形成多個貫穿所述功能層的微孔，所述微孔作為反應池。

8.根據權利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述金屬反射層上形成功能層，并對所述功能層進行圖形化處理以形成多個貫穿所述功能層的微孔，包括：

涂布壓印膠，并對所述壓印膠進行固化以作為所述功能層；

采用納米壓印工藝對所述壓印膠進行處理，以形成貫穿所述功能層的所述微孔。

9.根據權利要求7所述的制作方法，其特征在于，對所述功能層進行圖形化處理以形成多個貫穿所述功能層的微孔，包括：

在所述金屬反射層上沉積無機硅材料層作為所述功能層；

在所述功能層上形成壓印膠層；

采用納米壓印工藝形成多個貫穿所述壓印膠的通孔，或采用納米壓印工藝在所述壓印膠上形成多個凹槽；

以形成多個所述通孔或多個所述凹槽的壓印膠作為掩膜對所述無機硅材料層進行刻蝕，以形成多個貫穿所述無機硅材料層的所述微孔；

將所述壓印膠去除。

10.根據權利要求7-9中任一項所述的制作方法，其特征在于，還包括：

在形成所述功能層之前，在所述金屬反射層上形成透明保護層，所述透明保護層的材料包括氧化銦錫和/或氧化銦鋅。