[發(fā)明專(zhuān)利]一種等離子體處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910880951.5
• 申請(qǐng)日: 2019-09-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112530775A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳磊;梁潔;涂樂(lè)義
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/32
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 潘穎

1.一種等離子體處理裝置，其特征在于，位于所述等離子體處理裝置的反應(yīng)腔內(nèi)包括：

相對(duì)設(shè)置的氣體噴淋頭和靜電吸盤(pán)；

以及，環(huán)繞所述氣體噴淋頭設(shè)置的上接地環(huán)，所述上接地環(huán)沿環(huán)形方向分割為多個(gè)子接地區(qū)；

其中，每一所述子接地區(qū)各自電連接一位于所述反應(yīng)腔外的阻抗可調(diào)裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述阻抗可調(diào)裝置為可變電容調(diào)節(jié)裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述可變電容調(diào)節(jié)裝置包括固定極板和可動(dòng)極板，其中，所述子接地區(qū)電連接所述固定極板。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述固定極板與所述可動(dòng)極板相對(duì)設(shè)置方向，與所述氣體噴淋頭和所述靜電吸盤(pán)相對(duì)設(shè)置方向垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述可變電容調(diào)節(jié)裝置包括與所述可動(dòng)極板相連的傳動(dòng)裝置；

其中，所述固定極板與所述可動(dòng)極板之間間距固定，所述傳動(dòng)裝置帶動(dòng)所述可動(dòng)極板在垂直所述固定極板和所述可動(dòng)極板相對(duì)方向上移動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述等離子體處理裝置還包括固定于所述反應(yīng)腔外的防護(hù)罩，其中，所述固定極板與所述可動(dòng)極板位于所述防護(hù)罩內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)裝置為馬達(dá)傳動(dòng)裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)裝置為氣動(dòng)傳動(dòng)裝置。