[發明專利]一種用于晶硅粗磨精磨一體機的磨削主軸及其使用方法

在審

• 申請號: 201910873923.0
• 申請日: 2019-09-17
• 公開（公告）號: CN110524414A
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 郭世鋒;徐公志;王永華;尹美玲
• 申請（專利權）人: 青島高測科技股份有限公司
• 主分類號: B24B41/04
• 分類號: B24B41/04;B24B1/00;B24B47/12
• 代理公司: 11624 北京卓嵐智財知識產權代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 郭智<國際申請>=<國際公布>=<進入國

本發明涉及一種用于晶硅粗磨精磨一體機的磨削主軸及其使用方法，屬于晶硅加工設備技術領域，包括粗磨主軸機構和精磨主軸機構，所述粗磨主軸機構包括粗磨頭組件和與粗磨頭組件連接的粗磨主軸組件，所述精磨主軸機構包括精磨頭組件和與精磨頭組件連接的精磨主軸組件，精磨主軸機構套設在粗磨主軸機構中并與所述驅動組件相連接，用于對晶硅進行粗磨和精磨，可在晶硅的同一位置進行粗磨及精磨加工，精磨加工余量減小，效率極大提高，具有廣闊的市場前景。

技術領域

本發明屬于晶硅加工設備技術領域，具體地說涉及一種用于晶硅粗磨精磨一體機的磨削主軸及其使用方法。

背景技術

晶硅在切片工序之前，需要對切方后的單晶硅棒，進行磨面拋光倒角，通常磨頭主軸單元上均安裝一個砂輪(粗磨砂輪或精磨砂輪)，勢必導致硅棒的粗磨及精磨不在一個位置上，由于加工位置的變化，導致精磨硅棒時需要更大的精磨余量才可以保證工件的加工，怎樣能夠減少磨削余量更加高效節能的對晶硅進行磨削是我們需要解決的問題。

發明內容

針對現有技術的種種不足，現提供一種精磨主軸機構套設在粗磨主軸機構內的磨削主軸。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種用于晶硅粗磨精磨一體機的磨削主軸，包括粗磨主軸機構和精磨主軸機構，所述粗磨主軸機構包括粗磨頭組件和與粗磨頭組件連接的粗磨主軸組件，所述精磨主軸機構包括精磨頭組件和與精磨頭組件連接的精磨主軸組件，精磨主軸機構套設在粗磨主軸機構中并與所述驅動組件相連接，用于對晶硅進行粗磨和精磨。

進一步，所述粗磨主軸組件包括粗磨主軸，所述精磨主軸組件包括精磨主軸和偏心軸，所述精磨主軸套設于粗磨主軸內，并與粗磨主軸同軸轉動，所述粗磨主軸的末端設置有皮帶輪，所述精磨主軸外套設有主軸壓縮彈簧，且其與粗磨主軸固連，所述偏心軸沿著與粗磨主軸和精磨主軸相垂直的方向設置。

進一步，所述粗磨主軸上設置有容納主軸壓縮彈簧的彈簧固定槽，所述壓縮彈簧的一端與彈簧固定槽相抵，其另一端與精磨主軸固連。

進一步，所述精磨主軸的末端設置有推力軸承，所述偏心軸與推力軸承配合使用，所述推力軸承的外圍安裝有軸承端蓋。

進一步，所述精磨頭組件套設于粗磨頭組件內，其包括精磨砂輪，所述粗磨頭組件包括粗磨砂輪，所述精磨砂輪與精磨主軸固連，所述粗磨砂輪與粗磨主軸固連。

進一步，所述驅動組件包括砂輪旋轉電機和精磨砂輪伸縮控制電機，所述砂輪旋轉電機的輸出端與粗磨主軸連接，用于驅動粗磨主軸和精磨主軸轉動，所述精磨砂輪伸縮控制電機的輸出端與偏心軸連接，驅動偏心軸轉動以推動精磨主軸的末端向遠離偏心軸的一端運動，實現精磨砂輪凸出于粗磨頭所在的平面，用于對晶硅進行精磨操作。

進一步，粗磨主軸與精磨主軸通過花鍵或者平鍵實現旋轉驅動。

進一步，所述精磨主軸和驅動組件均固定在固定座上。

另，本發明還提供一種用于晶硅粗磨精磨一體機的磨削主軸的使用方法，包括以下步驟：

S1：初始狀態時，精磨砂輪位于粗磨砂輪內部，砂輪旋轉電機啟動，粗磨砂輪對晶硅進行粗磨操作。

S2：待粗磨完畢，精磨驅動控制電機啟動，偏心軸轉動驅動精磨主軸向遠離偏心軸的一端運動，精磨砂輪凸出于粗磨砂輪所在的平面，對晶硅進行精磨，即可。

本發明的有益效果是：

1、精磨主軸套設于粗磨主軸內，通過皮帶輪同步驅動精磨主軸和粗磨主軸轉動，可實現在同一位置對晶硅進行加工，工件精度極大提高。

2、可對晶硅的同一位置分別進行粗磨及精磨加工，精磨加工余量小，且加工效率極大提高。