[發(fā)明專利]一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸及其使用方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910873923.0
• 申請(qǐng)日: 2019-09-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110524414A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭世鋒;徐公志;王永華;尹美玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島高測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B24B41/04
• 分類號(hào): B24B41/04;B24B1/00;B24B47/12
• 代理公司: 11624 北京卓嵐智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)
• 代理人: 郭智<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=<進(jìn)入國(guó)

1.一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸，其特征在于，包括粗磨主軸機(jī)構(gòu)和精磨主軸機(jī)構(gòu)，所述粗磨主軸機(jī)構(gòu)包括粗磨頭組件(1)和與粗磨頭組件(1)連接的粗磨主軸組件(2)，所述精磨主軸機(jī)構(gòu)包括精磨頭組件(3)和與精磨頭組件(3)連接的精磨主軸組件(4)，精磨主軸機(jī)構(gòu)套設(shè)在粗磨主軸機(jī)構(gòu)中并與所述驅(qū)動(dòng)組件(5)相連接，用于對(duì)晶硅進(jìn)行粗磨和精磨。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸，其特征在于，所述粗磨主軸組件(2)包括粗磨主軸(201)，所述精磨主軸組件(4)包括精磨主軸(401)和偏心軸(402)，所述精磨主軸(401)套設(shè)于粗磨主軸(201)內(nèi)，并與粗磨主軸(201)同軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述粗磨主軸(201)的末端設(shè)置有皮帶輪(202)，所述精磨主軸(401)外套設(shè)有主軸壓縮彈簧，且其與粗磨主軸(201)固連，所述偏心軸(402)沿著與粗磨主軸(201)和精磨主軸(401)相垂直的方向設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸，其特征在于，所述粗磨主軸(201)上設(shè)置有容納主軸壓縮彈簧(403)的彈簧固定槽(404)，所述壓縮彈簧的一端與彈簧固定槽(404)相抵，其另一端與精磨主軸(401)固連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸，其特征在于，所述精磨主軸(401)的末端設(shè)置有推力軸承(405)，所述偏心軸(402)與推力軸承(405)配合使用，所述推力軸承(405)的外圍安裝有軸承端蓋。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸，其特征在于，所述精磨頭組件(3)套設(shè)于粗磨頭組件(1)內(nèi)，其包括精磨砂輪(301)，所述粗磨頭組件(1)包括粗磨砂輪(101)，所述精磨砂輪(301)與精磨主軸(401)固連，所述粗磨砂輪(101)與粗磨主軸(201)固連。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件(5)包括砂輪旋轉(zhuǎn)電機(jī)(501)和精磨砂輪伸縮控制電機(jī)(502)，所述砂輪旋轉(zhuǎn)電機(jī)(501)的輸出端與粗磨主軸(201)連接，用于驅(qū)動(dòng)粗磨主軸(201)和精磨主軸(401)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述精磨砂輪伸縮控制電機(jī)(502)的輸出端與偏心軸(402)連接，驅(qū)動(dòng)偏心軸(402)轉(zhuǎn)動(dòng)以推動(dòng)精磨主軸(401)的末端向遠(yuǎn)離偏心軸(402)的一端運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)精磨砂輪(301)凸出于粗磨頭所在的平面，用于對(duì)晶硅進(jìn)行精磨操作。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸，其特征在于，粗磨主軸(201)與精磨主軸(401)通過(guò)花鍵或者平鍵實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸，其特征在于，所述精磨主軸(401)和驅(qū)動(dòng)組件(5)均固定在固定座(6)上。

9.一種如權(quán)利要求8所述的用于晶硅粗磨精磨一體機(jī)的磨削主軸的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：初始狀態(tài)時(shí)，精磨砂輪(301)位于粗磨砂輪(101)內(nèi)部，砂輪旋轉(zhuǎn)電機(jī)(501)啟動(dòng)，粗磨砂輪(101)對(duì)晶硅進(jìn)行粗磨操作。

S2：待粗磨完畢，精磨驅(qū)動(dòng)控制電機(jī)啟動(dòng)，偏心軸(402)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)精磨主軸(401)向遠(yuǎn)離偏心軸(402)的一端運(yùn)動(dòng)，精磨砂輪(301)凸出于粗磨砂輪(101)所在的平面，對(duì)晶硅進(jìn)行精磨，即可。