[發明專利]傳感器裝置

有效

• 申請號: 201910873433.0
• 申請日: 2015-09-30
• 公開（公告）號: CN110470731B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發明（設計）人: 小林京平
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: G01N29/02
• 分類號: G01N29/02;G01N29/22;G01N29/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 柯瑞京

本發明涉及一種能夠以良好的高靈敏度來測定檢體的傳感器裝置。傳感器裝置(100)，具備：元件基板(10a)；檢測部(10b)，具有位于元件基板(10a)的上表面的反應部(13)、第一IDT電極(11)和第二IDT電極(12)，所述反應部(13)具有固定化膜(13a)并進行檢體的檢測，所述第一IDT電極(11)產生朝向反應部(13)傳播的彈性波，所述第二IDT電極(12)接收通過了反應部(13)的彈性波；以及保護膜(28)，覆蓋第一IDT電極(11)和第二IDT電極(12)，在元件基板(10a)中，與第一IDT電極(11)和第二IDT電極(12)所位于的區域相比，反應部(13)所位于的區域更低。

本申請是申請日為2015年09月30日、申請號為201580006044.8、發明名稱為“傳感器裝置”的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及能夠測定檢體液的性質或檢體液所包含的成分的傳感器裝置。

背景技術

已知有通過使用聲表面波元件等檢測元件檢測檢體液中的被檢測物來測定檢體液的性質或成分的傳感器裝置(例如，參照專利文獻1至3。)。

例如，使用了聲表面波元件的傳感器裝置在壓電基板上設置有與檢體液的試樣所包含的成分進行反應的反應部，通過測定在該反應部中傳播的聲表面波的變化，從而檢測檢體液的性質或成分。使用了聲表面波元件等的測定方法與其它測定方法(例如，酶法等)相比，具有容易同時檢測多個檢查項目的優點。

然而，在以往的傳感器裝置中，位于一對IDT電極之間的反應部并未位于相對于該一對IDT電極足夠低的位置，因此聲表面波的能量難以集中在反應部，其結果難以以良好的靈敏度來檢測檢體中的被檢測物。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平5-240762號公報

專利文獻2：日本特開2006-184011號公報

專利文獻3：日本特開2010-239477號公報

發明內容

發明要解決的課題

因此，要求一種能夠以良好的靈敏度來檢測檢體中的被檢測物的傳感器裝置。

用于解決課題的技術方案

本發明的實施方式涉及的傳感器裝置具備：元件基板；檢測部，具有位于所述元件基板的上表面的反應部、第一IDT電極以及第二IDT電極，所述反應部具有固定化膜且檢測被檢測物，所述第一IDT電極產生朝向所述反應部傳播的彈性波，所述第二IDT電極接收通過了所述反應部的所述彈性波；以及保護膜，覆蓋所述第一IDT電極和所述第二IDT電極，在所述元件基板中，與所述第一IDT電極和所述第二IDT電極所位于的區域相比，所述反應部所位于的區域更低。

發明效果

根據本發明的實施方式涉及的傳感器裝置，在元件基板的上表面，與第一IDT電極和第二IDT電極所位于的區域相比，反應部所位于的區域更低，因此在反應部中，在第一IDT電極與第二IDT電極之間傳播的聲表面波的能量容易集中在固定化膜，因此能夠以高靈敏度進行測定。

附圖說明

圖1是示出本發明的實施方式涉及的傳感器裝置的圖，其中，(a)是俯視圖，(b)是長度方向上的剖視圖，(c)是寬度方向上的剖視圖。

圖2是圖1的傳感器裝置的分解俯視圖。

圖3是示出圖1的傳感器裝置的制造工序的俯視圖。

圖4是示出圖1的傳感器裝置的檢測元件的俯視圖。

圖5是示出圖1的傳感器裝置的檢測元件的剖視圖。