[發明專利]一種卷繞式磁控濺射鍍膜機

在審

• 申請號: 201910872123.7
• 申請日: 2019-09-16
• 公開（公告）號: CN110438467A
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 林初贏;林初煌
• 申請（專利權）人: 林初贏
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368
• 代理人: 魏敬宣

1.一種卷繞式磁控濺射鍍膜機，其特征在于：包括鍍膜箱體(1)、底座(2)、磁控濺射機構(3)、物料輥(4)、收卷輥(5)、傳導機構(6)和平展機構(7)，所述鍍膜箱體(1)的底部固定安裝有底座(2)，所述鍍膜箱體(1)的內部安裝有磁控濺射機構(3)，所述鍍膜箱體(1)的一側開設有箱口(11)，所述箱口(11)一側的鍍膜箱體(1)上通過不銹鋼合頁鉸接安裝有箱門(12)，所述鍍膜箱體(1)內靠近箱門(12)一側的頂部安裝有物料輥(4)，所述鍍膜箱體(1)內遠離物料輥(4)一側的頂部安裝有收卷輥(5)，所述物料輥(4)和收卷輥(5)相對的兩端均與鍍膜箱體(1)的箱壁轉動安裝，所述收卷輥(5)和物料輥(4)之間的鍍膜箱體(1)內安裝有傳導機構(6)，所述物料輥(4)上方的鍍膜箱體(1)內安裝有平展機構(7)，所述物料輥(4)上收卷有基材(8)，所述基材(8)經過傳導機構(6)收卷在收卷輥(5)上，所述基材(8)靠近磁控濺射機構(3)的一側形成有鍍膜層(9)，所述傳導機構(6)設置在磁控濺射機構(3)的上方，所述收卷輥(5)的一端通過聯軸器與第一電機(10)的輸出端傳動連接，所述第一電機(10)通過安裝板固定安裝在鍍膜箱體(1)的一側上，所述底座(2)的底部固定安裝有移動輪(13)。

2.根據權利要求1所述的一種卷繞式磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述磁控濺射機構(3)包括極板(31)、磁鐵(32)、靶材(33)、第一通口(34)、第二通口(35)、真空泵(36)、導氣管(37)、電磁閥(38)和儲氣罐(39)，所述極板(31)安裝在鍍膜箱體(1)的內底部，所述極板(31)上安裝有磁鐵(32)，所述磁鐵(32)設置有三個，所述磁鐵(32)遠離極板(31)一側的鍍膜箱體(1)內安裝有靶材(33)，所述靶材(33)靠近磁鐵(32)的一側固定安裝有銅背板，所述靶材(33)上方的鍍膜箱體(1)內設置有基材(8)，所述極板(31)一側的鍍膜箱體(1)上開設有第一通口(34)，所述極板(31)另一側的鍍膜箱體(1)上開設有第二通口(35)，所述第一通口(34)通過管道與真空泵(36)的輸入端連通，所述真空泵(36)固定安裝在底座(2)的內部，所述第二通口(35)通過導氣管(37)與儲氣罐(39)連通，所述儲氣罐(39)和第二通口(35)之間的導氣管(37)上安裝有電磁閥(38)，所述儲氣罐(39)固定安裝在底座(2)的內部。

3.根據權利要求1所述的一種卷繞式磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述傳導機構(6)包括導料輥(61)、調節座(62)、螺紋桿(63)、凹槽(64)、連動桿(65)、第一錐齒輪(66)和第二錐齒輪(67)，所述導料輥(61)相對的兩端安裝有調節座(62)，所述調節座(62)上開設有螺孔，所述調節座(62)上螺紋穿過安裝有螺紋桿(63)，所述導料輥(61)相對兩側的鍍膜箱體(1)上開設有凹槽(64)，所述螺紋桿(63)轉動安裝在凹槽(64)內，所述螺紋桿(63)的一端通過連動桿(65)與第一錐齒輪(66)固定連接，所述第一錐齒輪(66)的一側嚙合安裝有第二錐齒輪(67)，所述平展機構(7)包括平展絲桿(71)、第二電機(72)、平展移動座(73)、電動伸縮桿(74)和平展板(75)，所述平展絲桿(71)轉動安裝在物料輥(4)上方的鍍膜箱體(1)上，所述平展絲桿(71)的一端通過聯軸器與第二電機(72)的輸出端傳動連接，所述第二電機(72)固定安裝在鍍膜箱體(1)上，所述平展絲桿(71)上螺紋安裝有平展移動座(73)，所述平展移動座(73)的底部固定安裝有電動伸縮桿(74)，所述電動伸縮桿(74)遠離平展移動座(73)的一端固定安裝有平展板(75)。

4.根據權利要求3所述的一種卷繞式磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述導料輥(61)設置有兩個，兩個所述導料輥(61)分別為第一導料輥(611)和第二導料輥(612)，所述基材(8)依次經過第一導料輥(611)和第二導料輥(612)。

5.根據權利要求3所述的一種卷繞式磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述第二錐齒輪(67)的一端固定安裝有轉柄(68)。