[發(fā)明專利]一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910869860.1
• 申請日: 2019-09-16
• 公開（公告）號: CN112501614A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃華生
• 申請（專利權(quán)）人: 黃華生
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機，包括上下料段、顯影段、第一水洗段、檢視段、蝕刻段、第二水洗段、膨松段、退膜段、第三水洗段、微蝕抗氧化段、第四水洗段和烘干段，該垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機通過垂直的方式，可以最大限度地杜絕水池效應(yīng)，解決蝕刻料號雙面蝕刻均勻性差異的問題；通過蝕刻盤持續(xù)旋轉(zhuǎn)的方式可以利用重力的方式讓蝕刻藥水迅速排開加快藥水交換，提高蝕刻精度；通過連續(xù)傳輸?shù)姆绞讲煌墓ぷ鞫尾恍枰C換料，直接流水線作業(yè)，大大提高了效率，節(jié)約了人力；其上下料段還可以配備機械手上下料，完全實現(xiàn)全自動生產(chǎn)；可以用一流體的噴淋方式或者二流體的噴淋方式，二流體噴淋的方式將更有利于提高蝕刻精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及蝕刻機相關(guān)領(lǐng)域，具體是一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機。

背景技術(shù)

目前市面上絕大部分是水平傳輸?shù)奈g刻機，水平傳輸蝕刻機生產(chǎn)效率高但水平傳輸蝕刻機由于有水池效應(yīng)，導(dǎo)致上下面蝕刻存在不均勻問題，也導(dǎo)致藥水置換緩慢蝕刻精度難以提高的問題，目前水平蝕刻機中的真空蝕刻機也未能完全杜絕水池效應(yīng)；而且水平傳輸蝕刻機由于傳輸滾輪的存在無法滿足市面上對線寬線距越來越細(xì)越來越精密的要求。

目前市面上的垂直旋轉(zhuǎn)蝕刻機，存在兩個重大缺陷，第一個是由于旋轉(zhuǎn)時并不是靠圓中心的軸承旋轉(zhuǎn)，在蝕刻時不能同時利用重力和離心力將蝕刻藥水迅速甩出，蝕刻完后也不能馬上利用離心力將蝕刻藥水甩干，雖然垂直旋轉(zhuǎn)蝕刻機和水平傳輸蝕刻機比蝕刻精度有很大提升，但這個缺陷對蝕刻精度也有重大影響；第二是垂直旋轉(zhuǎn)蝕刻機上下料非常麻煩，用不同的機器分別進行顯影--水洗--蝕刻--水洗--膨松--退膜—水洗—微蝕—抗氧化—水洗—烘干，不同的工作段需要停機打開機門然后手工上下料，非常耗時耗力，生產(chǎn)效率非常低。

目前市面上的水平旋轉(zhuǎn)蝕刻機只能進行用下噴的方式進行單面生產(chǎn)，如果是雙面的水平旋轉(zhuǎn)蝕刻機上噴面很難解決圓心和圓外圍蝕刻不均勻的問題，也根本無法做稍微大一點尺寸的料號，和垂直旋轉(zhuǎn)蝕刻機一樣存在生產(chǎn)效率低下的問題；同時市面上的蝕刻機水洗段一般都有15-18道水洗段，普遍存在能耗高和耗水量高的問題。

發(fā)明內(nèi)容

因此，為了解決上述不足，本發(fā)明在此提供一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，構(gòu)造一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機，該裝置包括上下料段、顯影段、第一水洗段、檢視段、蝕刻段、第二水洗段、膨松段、退膜段、第三水洗段、微蝕抗氧化段、第四水洗段、烘干段、支撐架、傳動環(huán)形軌道、環(huán)形傳動電機、第一伺服電機、驅(qū)動皮帶、蝕刻轉(zhuǎn)盤和滑動電刷，所述上下料段、顯影段、第一水洗段、檢視段、蝕刻段、第二水洗段、膨松段、退膜段、第三水洗段、微蝕抗氧化段、第四水洗段和烘干段形成整套蝕刻流程，并且其呈橢圓狀環(huán)繞分布在支撐架外側(cè)，所述支撐架頂部固定有傳動環(huán)形軌道，所述傳動環(huán)形軌道左部內(nèi)側(cè)與環(huán)形傳動電機的輸出軸傳動配合，并且環(huán)形傳動電機底部通過螺栓與支撐架相固定，所述第一伺服電機底部與傳動環(huán)形軌道頂側(cè)相連接，并且第一伺服電機通過傳動環(huán)形軌道在支撐架上呈橢圓狀移動，所述第一伺服電機的外側(cè)輸出軸通過支桿與驅(qū)動皮帶相連接，并且驅(qū)動皮帶底部外側(cè)與蝕刻轉(zhuǎn)盤同軸轉(zhuǎn)動，所述第一伺服電機頂部設(shè)置有滑動電刷。

優(yōu)選的，所述顯影段、蝕刻段和退膜段的結(jié)構(gòu)相同，所述蝕刻段包括第一罩體、第一集液箱、第一水泵、第一噴管和氣缸，所述第一罩體底部與第一集液箱呈一體化結(jié)構(gòu)，所述第一集液箱頂部外側(cè)通過螺栓緊固有第一水泵，所述第一水泵底部進水端通過管道伸入第一集液箱內(nèi)部底側(cè)，所述第一水泵頂側(cè)出水端通過蝕刻液管貫穿于第一罩體內(nèi)側(cè)并且與第一噴管相連接，所述第一噴管固定于第一罩體內(nèi)側(cè)，所述第一噴管對底部進氣口通過氣管與氣缸，并且氣缸設(shè)置與第一集液箱外側(cè)。

優(yōu)選的，所述第一水洗段、第二水洗段、膨松段、第三水洗段、微蝕抗氧化段和第四水洗段的結(jié)構(gòu)相同，所述水洗段包括第二罩體、第二集液箱、第二水泵和第二噴管，所述第二罩體底部與第二集液箱呈一體化結(jié)構(gòu)，所述第二集液箱頂部外側(cè)通過螺栓緊固有第二水泵，所述第二水泵底部進水端通過管道伸入第二集液箱內(nèi)部底側(cè)，所述第二水泵頂側(cè)出水端通過蝕刻液管貫穿于第二罩體內(nèi)側(cè)并且與第二噴管相連接，所述第二噴管固定于第二罩體內(nèi)側(cè)。