[發(fā)明專利]一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910869860.1
• 申請(qǐng)日: 2019-09-16
• 公開（公告）號(hào): CN112501614A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃華生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 黃華生
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)，其特征在于：包括上下料段（1）、顯影段（2）、第一水洗段（3）、檢視段（4）、蝕刻段（5）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、退膜段（8）、第三水洗段（9）、微蝕抗氧化段（10）、第四水洗段（11）、烘干段（12）、支撐架（13）、傳動(dòng)環(huán)形軌道（14）、環(huán)形傳動(dòng)電機(jī)（15）、第一伺服電機(jī)（16）、驅(qū)動(dòng)皮帶（17）、蝕刻轉(zhuǎn)盤（18）和滑動(dòng)電刷（19），所述上下料段（1）、顯影段（2）、第一水洗段（3）、檢視段（4）、蝕刻段（5）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、退膜段（8）、第三水洗段（9）、微蝕抗氧化段（10）、第四水洗段（11）和烘干段（12）形成整套蝕刻流程，并且其呈橢圓狀環(huán)繞分布在支撐架（13）外側(cè)，所述支撐架（13）頂部固定有傳動(dòng)環(huán)形軌道（14），所述傳動(dòng)環(huán)形軌道（14）左部?jī)?nèi)側(cè)與環(huán)形傳動(dòng)電機(jī)（15）的輸出軸傳動(dòng)配合，并且環(huán)形傳動(dòng)電機(jī)（15）底部通過螺栓與支撐架（13）相固定，所述第一伺服電機(jī)（16）底部與傳動(dòng)環(huán)形軌道（14）頂側(cè)相連接，并且第一伺服電機(jī)（16）通過傳動(dòng)環(huán)形軌道（14）在支撐架（13）上呈橢圓狀移動(dòng)，所述第一伺服電機(jī)（16）的外側(cè)輸出軸通過支桿與驅(qū)動(dòng)皮帶（17）相連接，并且驅(qū)動(dòng)皮帶（17）底部外側(cè)與蝕刻轉(zhuǎn)盤（18）同軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一伺服電機(jī)（16）頂部設(shè)置有滑動(dòng)電刷（19）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)，其特征在于：所述顯影段（2）、蝕刻段（5）和退膜段（8）的結(jié)構(gòu)相同，所述蝕刻段（5）包括第一罩體（51）、第一集液箱（52）、第一水泵（53）、第一噴管（54）和氣缸（55），所述第一罩體（51）底部與第一集液箱（52）呈一體化結(jié)構(gòu)，所述第一集液箱（52）頂部外側(cè)通過螺栓緊固有第一水泵（53），所述第一水泵（53）底部進(jìn)水端通過管道伸入第一集液箱（52）內(nèi)部底側(cè)，所述第一水泵（53）頂側(cè)出水端通過蝕刻液管貫穿于第一罩體（51）內(nèi)側(cè)并且與第一噴管（54）相連接，所述第一噴管（54）固定于第一罩體（51）內(nèi)側(cè)，所述第一噴管（54）對(duì)底部進(jìn)氣口通過氣管與氣缸（55），并且氣缸（55）設(shè)置與第一集液箱（52）外側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)，其特征在于：所述第一水洗段（3）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、第三水洗段（9）、微蝕抗氧化段（10）和第四水洗段（11）的結(jié)構(gòu)相同，所述水洗段（3）包括第二罩體（31）、第二集液箱（32）、第二水泵（33）和第二噴管（34），所述第二罩體（31）底部與第二集液箱（32）呈一體化結(jié)構(gòu)，所述第二集液箱（32）頂部外側(cè)通過螺栓緊固有第二水泵（33），所述第二水泵（33）底部進(jìn)水端通過管道伸入第二集液箱（32）內(nèi)部底側(cè)，所述第二水泵（33）頂側(cè)出水端通過蝕刻液管貫穿于第二罩體（31）內(nèi)側(cè)并且與第二噴管（34）相連接，所述第二噴管（34）固定于第二罩體（31）內(nèi)側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)，其特征在于：所述烘干段（12）包括第三罩體（121）、置放箱（122）、風(fēng)機(jī)（123）和風(fēng)刀（124），所述第三罩體（121）底部與置放箱（122）呈一體化結(jié)構(gòu)，所述置放箱（122）頂部外側(cè)通過螺栓緊固有風(fēng)機(jī)（123），所述風(fēng)機(jī)（123）內(nèi)側(cè)出風(fēng)口通過風(fēng)管貫穿于第三罩體（121）內(nèi)側(cè)并且與風(fēng)刀（124）相連接，所述風(fēng)刀（124）固定于第三罩體（121）內(nèi)側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)，其特征在于：所述第一噴管（54）共設(shè)置有若干組，并且若干組第一噴管（54）在第一罩體（51）內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)，其特征在于：所述第二噴管（34）共設(shè)置有若干組，并且若干組第二噴管（34）在第二罩體（31）內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)，其特征在于：所述風(fēng)刀（124）共設(shè)置有若干組，并且若干組風(fēng)刀（124）在第三罩體（121）內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種垂直連續(xù)旋轉(zhuǎn)蝕刻機(jī)，其特征在于：所述第一伺服電機(jī)（16）共設(shè)置有若干組，并且若干組第一伺服電機(jī)（16）之間的間距兩兩相等，同時(shí)若干組第一伺服電機(jī)（16）分別位于上下料段（1）、顯影段（2）、第一水洗段（3）、檢視段（4）、蝕刻段（5）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、退膜段（8）、第三水洗段（9）、微蝕抗氧化段（10）、第四水洗段（11）和烘干段（12）內(nèi)側(cè)中部。