[發明專利]用于確定邊緣環特性的系統和方法

有效

• 申請號: 201910856579.4
• 申請日: 2017-01-17
• 公開（公告）號: CN110767525B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 馬庫斯·穆瑟爾曼;安德魯·D·貝利三世;喬恩·麥克切斯尼
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 樊英如;張靜

1.一種襯底處理系統中的襯底支撐件，所述襯底支撐件包括：

內部部分；

圍繞所述內部部分的邊緣環；以及

控制器，其被配置成：

選擇性地升高所述邊緣環，

接收指示布置在所述內部部分上的測試襯底的定位的測量信號，所述測試襯底包括從所述測試襯底的邊緣向外延伸的至少一個接觸指，其中所述至少一個接觸指被設置成接合所述邊緣環，

基于指示所述測試襯底的所述定位的所述測量信號確定所述邊緣環何時接合所述測試襯底的所述至少一個接觸指，以及

基于對所述邊緣環何時接合所述測試襯底的所述至少一個接觸指的所述確定來計算所述邊緣環的至少一個特性。

2.根據權利要求1所述的襯底支撐件，其中，為了確定所述邊緣環何時接合所述至少一個接觸指，所述控制器還被配置為確定使所述邊緣環接合所述至少一個接觸指的所述邊緣環被升高的量。

3.根據權利要求1所述的襯底支撐件，其中所述至少一個特性是所述邊緣環的尺寸。

4.根據權利要求1所述的襯底支撐件，其中所述至少一個接觸指被布置成接合所述邊緣環的內徑。

5.根據權利要求1所述的襯底支撐件，其中，為了確定所述邊緣環何時接合所述至少一個接觸指，所述控制器被配置成使用所述測量信號監測從所述測試襯底的表面反射的信號。

6.根據權利要求1所述的襯底支撐件，其中，為了計算所述邊緣環的所述至少一個特性，所述控制器被配置為確定使所述邊緣環接合所述至少一個接觸指的所述邊緣環被升高的量。

7.根據權利要求1所述的襯底支撐件，其還包括：

多個銷，其定位成支撐所述邊緣環；以及

多個致動器，其響應于所述控制器并被布置成選擇性地升高和降低所述多個銷中的相應銷。

8.一種襯底處理系統，其包括根據權利要求1所述的襯底支撐件并且還包括測量裝置，其被配置成產生基于所述測試襯底的所述定位的所述測量信號。

9.一種確定襯底處理系統中的襯底支撐件的邊緣環的特性的方法，所述方法包括：

將測試襯底布置在所述襯底支撐件的內部部分上，其中所述測試襯底包括從所述測試襯底的邊緣向外延伸的至少一個接觸指；

升高所述邊緣環；

接收指示布置在所述襯底支撐件的所述內部部分上的所述測試襯底的定位的測量信號；

基于指示所述測試襯底的所述定位的所述測量信號確定所述邊緣環何時接合所述測試襯底的所述至少一個接觸指；以及

基于對所述邊緣環何時接合所述測試襯底的所述至少一個接觸指的確定來計算所述邊緣環的至少一個特性。

10.根據權利要求9所述的方法，其中確定所述邊緣環何時接合所述至少一個接觸指包括確定所述邊緣環的內徑何時接合所述至少一個接觸指以及確定使所述邊緣環的所述內徑接合所述至少一個接觸指的所述邊緣環被升高的量。

11.根據權利要求9所述的方法，其中所述至少一個特性是所述邊緣環的尺寸。

12.根據權利要求9所述的方法，其中所述至少一個接觸指被布置成接合所述邊緣環的內徑。

13.根據權利要求9所述的方法，其中確定所述邊緣環何時接合所述測試襯底的所述至少一個接觸指包括使用所述測量信號監測從所述測試襯底的表面反射的信號。

14.根據權利要求9所述的方法，其中計算所述邊緣環的所述至少一個特性包括確定使所述邊緣環接合所述至少一個接觸指的所述邊緣環被升高的量。

15.根據權利要求9所述的方法，其中升高所述邊緣環包括使用被定位成支撐所述邊緣環的多個銷以及被布置成選擇性地升高和降低所述多個銷中的相應銷的多個致動器來升高所述邊緣環。