[發明專利]壓印方法和物品制造方法

在審

• 申請號: 201910852935.5
• 申請日: 2019-09-10
• 公開（公告）號: CN110888299A
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發明（設計）人: 塩出吉宏
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍

本發明提供一種壓印方法和物品制造方法。一種壓印方法包括如下步驟：將壓印材料以微滴布置在基板的投射區域上，使投射區域的一部分上的壓印材料與模具的圖案區域接觸并且然后將該壓印材料和該圖案區域之間的接觸區域擴大到投射區域的整個區域，以及固化壓印材料。在布置步驟中，在從投射區域的所述一部分沿徑向方向定位的多個局部區域中的每一個中，壓印材料被布置成使得在平行于與徑向方向正交的方向且其上存在多滴壓印材料的線上的壓印材料的定向滴密度小于在平行于徑向方向且其上存在多滴壓印材料的線上的壓印材料的定向滴密度。

技術領域

本發明涉及一種壓印方法和物品制造方法。

背景技術

壓印技術使基板上的壓印材料與模具接觸，將壓印材料填充到形成模具圖案的凹部中，然后固化壓印材料以將模具的圖案轉印到基板上。日本特開第2009-536591號公報描述了在模具朝向基板變形為凸形并且使模具的中央部分與基板上的聚合物材料(壓印材料)接觸之后，聚合物材料與模具之間的接觸區域擴大了。在聚合物材料與模具之間的接觸區域被擴大的過程中，存在于基板與模具之間的氣體被排出。

在基板上的壓印材料與模具之間的接觸區域被擴大的過程中，如果氣體被俘獲在由基板、模具和壓印材料圍繞的空間中，則壓印材料到模具的凹部的填充會出問題。如果在壓印材料到模具的凹部的填充不完全的狀態下固化壓印材料，則由壓印材料的固化產物形成的圖案中會出現缺陷。因此，在被俘獲在空間中的氣體通過被溶解或凝結在壓印材料中而消失并且模具的凹部被填充壓印材料之前，需要等待壓印材料的固化的開始。這樣的過程可能降低產量。當排出氣體的通道被壓印材料阻擋時可能發生氣體的截留。因此，重要的是如何在基板上布置壓印材料的微滴。

發明內容

本發明提供了一種有利于提高產量的壓印方法。

本發明的第一方面提供一種壓印方法，所述壓印方法包括如下步驟：將壓印材料以微滴的形式布置在基板的投射區域上，使投射區域的一部分上的壓印材料與模具的圖案區域接觸并且然后將該壓印材料與該圖案區域之間的接觸區域擴大到投射區域的整個區域，以及在接觸步驟后固化壓印材料，其中，在布置步驟中，在從投射區域的所述一部分沿徑向方向定位的多個局部區域中的各個中，壓印材料被布置成使得在平行于與徑向方向正交的方向且其上存在多滴壓印材料的線上的壓印材料的定向滴密度(directional dropdensity)小于在平行于徑向方向且其上存在多滴壓印材料的線上的壓印材料的定向滴密度。

本發明的第二方面提供一種壓印方法，所述壓印方法包括如下步驟：將壓印材料以微滴的形式布置在基板的投射區域上，在將壓印材料與模具的圖案區域之間的接觸區域擴大到投射區域的整個區域之前使投射區域的一部分上的壓印材料與該圖案區域接觸，以及在接觸步驟后固化壓印材料，其中，在布置步驟中，在與投射區域的邊的中央部分接觸的局部區域中，壓印材料被布置成使得在平行于該邊且其上存在多滴壓印材料的線上的壓印材料的定向滴密度小于在平行于與該邊正交的方向且其上存在多滴壓印材料的線上的壓印材料的定向滴密度。

本發明的第三方面提供一種物品制造方法，其包括：根據作為本發明的第一方面或第二方面所限定的壓印方法在基板上形成圖案；以及通過處理具有形成的圖案的基板來獲得物品。

根據下面參照附圖對示例性實施例的描述，本發明的其他特征將變得顯而易見。

附圖說明

圖1是示出本發明實施例的壓印裝置的布置的圖；

圖2是示出本發明實施例的壓印裝置的布置的圖；

圖3是示出模具驅動器(X-Y臺子)的布置的圖；

圖4是示出圖1和圖2中所示的壓印裝置的操作的示例的流程圖；

圖5A和圖5B是示出壓印材料的微滴相對于投射區域的布置和接觸步驟中的微滴的圖；