[發明專利]傳輸變向裝置、系統和方法

在審

• 申請號: 201910842330.8
• 申請日: 2019-09-06
• 公開（公告）號: CN112456065A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 陳燦議
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B65G43/00
• 分類號: B65G43/00;B65G47/80;B65G47/52
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 李鑫

本發明涉及一種傳輸變向裝置、系統和方法，所述裝置包括：傳輸變向部件，用于在接收到控制器發出的控制信號后開始或停止旋轉；檢測裝置，用于檢測所述傳輸變向部件的位置信息以生成位置信號；控制器，用于基于所述位置信號控制所述傳輸變向部件停止旋轉。本申請由于在傳輸變向部件上設置有可以檢測其旋轉角度的檢測裝置，控制器根據檢測裝置檢測獲取的傳輸變向部件的位置信號來控制傳輸變向部件旋轉的角度，進而可以控制傳輸變向部件傳輸物件的轉向。

技術領域

本發明涉及物件傳輸技術領域，特別是涉及一種傳輸變向裝置、系統和方法。

背景技術

隨著半導體技術的日益發展及市場對半導體產品需求量的增加，現今半導體廠為了提高產能，增加了生產設備數量的同時，提高了生產設備工作流程的復雜度。因而，廠內機臺設備配置分區數量漸大，各區之間透過自動搬運系統(Automatic handling system，AMHS)的搬送效率已經成為提高生產效能的重要影響因素之一。

傳統的半導體設備生產廠內，將不同生產設備分區設置，各區之間的軌道設計多為單向傳輸設備搭配U型變向臺的形式，通過臺車行走于各區之間。根據前期的搬送計劃模擬結果來確認變向臺的擺放數量與擺放位置。

然而U型變向臺因擺放位置受到自身結構以及廠內控制設備的限制無法密集的設置，導致盡管是需要運輸至對面的短距離搬送，臺車仍需繞行一大段距離，搬運效率低下。且需要按序行進，如果前面的臺車停止運行，則后面排隊的臺車也需要進行等待，導致時間過長，降低效率。另外，在半導體生產工藝流程更新較快的前提下，生產設備替換頻繁，導致初期的搬運計劃模擬結果無法適用于更新后的生產工藝流程，如要改善僅能透過軌道改造方式進行，而改造期間又大大影響生產效能，因此往往沿用最初設計，讓搬運效率越來越差。

發明內容

基于此，有必要針對上述背景技術中繞行搬運距離長、效率低且不能適應生產設備更換需求的問題，提供一種具備自動變向功能的傳輸變向裝置、系統和方法。

本申請的一方面提供一種傳輸變向裝置，包括：

傳輸變向部件，用于在接收到控制器發出的控制信號后開始或停止旋轉；

檢測裝置，用于檢測所述傳輸變向部件的位置信息以生成位置信號；

控制器，用于基于所述位置信號控制所述傳輸變向部件停止旋轉。

上述傳輸變向裝置，由于在傳輸變向部件上設置有檢測其旋轉角度的檢測裝置，控制器根據檢測裝置檢測獲取的傳輸變向部件的位置信號來控制傳輸變向部件旋轉的角度，進而可以控制傳輸變向部件傳輸物件的轉向。

在其中一個實施例中，所述傳輸變向部件設有定位器；

所述檢測裝置包括用于檢測所述定位器的位置信號的定位傳感器。

在其中一個實施例中，所述定位傳感器設有定位孔；

所述定位器包括彈性部和定位端子，所述定位端子通過所述彈性部與所述傳輸變向部件連接；

其中，當所述定位端子隨變向部件旋轉進入所述定位孔內時，所述定位傳感器發送所述位置信號給所述控制器。

在其中一個實施例中，所述定位傳感器為遮斷式傳感器，包括信號發射端和信號接收端，所述定位孔位于所述信號發射端與所述信號接收端之間。

在其中一個實施例中，所述檢測裝置還包括：

傳輸件檢測傳感器，用于檢測放置到所述傳輸變向部件上的傳輸件，并發送變向觸發信號給所述控制器，所述控制器基于所述變向觸發信號控制所述傳輸變向部件開始旋轉。

在其中一個實施例中，所述定位傳感器包括信號發射端和信號接收端，所述信號接收端與所述控制器連接，所述定位孔位于所述信號發射端與所述信號接收端之間。