[發(fā)明專利]障礙檢測裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910841107.1
• 申請日: 2019-09-06
• 公開（公告）號: CN112558083A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李凌宇
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01S17/04
• 分類號: G01S17/04;G01S17/48
• 代理公司: 上海晨皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本發(fā)明涉及一種障礙檢測裝置及方法，障礙檢測裝置包括：支撐座、與支撐座相連的檢測臂，檢測臂上設(shè)置有至少一個檢測信號發(fā)射器；檢測信號發(fā)射器用于在障礙檢測時發(fā)出沿預(yù)設(shè)方向傳輸?shù)臋z測光信號。本發(fā)明采用檢測信號發(fā)射器向待測區(qū)域發(fā)射檢測光信號，通過檢測光信號的傳輸情況判斷檢測區(qū)域是否有障礙物，能夠準(zhǔn)確的檢測出待測區(qū)域的障礙物，節(jié)省人力成本，提高工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種障礙檢測裝置及方法。

背景技術(shù)

由于半導(dǎo)體制造工藝的復(fù)雜性，半導(dǎo)體制造設(shè)備需要連接各種管道。例如，在制造半導(dǎo)體器件的無塵間內(nèi)，半導(dǎo)體制造設(shè)備區(qū)域的下方、上方、以及半導(dǎo)體制造設(shè)備的背面會布滿各類管道線路。

由于管道分布錯綜復(fù)雜，當(dāng)進(jìn)行新管道的安裝時，需要先判斷哪一些區(qū)域?yàn)榭梢约友b管道的區(qū)域，即判斷哪些區(qū)域沒有障礙物。目前是以肉眼判斷哪塊區(qū)域可以加裝管道，但是肉眼判斷準(zhǔn)確性不高，且耗費(fèi)人力成本和時間，影響安裝效率。

為此，亟需提供一種障礙檢測裝置，能夠快速準(zhǔn)確的檢測目標(biāo)區(qū)域是否有障礙物。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例解決的技術(shù)問題為提供一種障礙檢測裝置及檢測方法，以便于快速準(zhǔn)確的檢測待測區(qū)域是否有障礙物。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提供一種障礙檢測裝置，包括：支撐座、與支撐座相連的檢測臂，檢測臂上設(shè)置有至少一個檢測信號發(fā)射器；檢測信號發(fā)射器用于在障礙檢測時發(fā)出沿預(yù)設(shè)方向傳輸?shù)臋z測光信號。

另外，檢測臂上設(shè)置有第一滑軌，且檢測信號發(fā)射器可移動的設(shè)置于第一滑軌上；或檢測臂上設(shè)置有可移動的卡接部件且檢測信號發(fā)射器設(shè)置于卡接部件上。通過移動檢測信號發(fā)射器的位置使檢測的范圍更加靈活。

另外，還包括：第一控制器，第一控制器適于控制檢測信號發(fā)射器在沿平行于檢測臂延伸方向上移動。

另外，檢測臂適于繞支撐座的中心軸線轉(zhuǎn)動；還包括：第二控制器，第二控制器適于控制檢測臂按照預(yù)設(shè)條件轉(zhuǎn)動。實(shí)現(xiàn)檢測臂自動旋轉(zhuǎn)，使檢測方式更加靈活，且更適于檢測管徑的安裝范圍內(nèi)是否含有障礙物。

另外，還包括：第二滑軌，第二滑軌繞支撐座設(shè)置，檢測臂可移動的設(shè)置于第二滑軌上。

另外，檢測臂的數(shù)量為多個，相鄰檢測臂以預(yù)設(shè)的夾角依次環(huán)列。多個檢測臂使檢測范圍擴(kuò)大且更適于檢測管徑的安裝范圍內(nèi)是否含有障礙物。

另外，還包括支撐座上的角度刻度盤，用于在檢測到障礙物時確定檢測臂的延伸方向。進(jìn)一步確定障礙物的方位，適于準(zhǔn)確調(diào)整到?jīng)]有障礙物影響的位置。

另外，還包括：檢測系統(tǒng)，用于基于檢測光信號的傳輸情況判斷是否具有障礙物。

另外，檢測系統(tǒng)包括：光接收部件，光接收部件設(shè)置在檢測光信號的傳輸方向上，光接收部件用于接收檢測光信號；第一處理器，用于基于光接收部件接收的檢測光信號的數(shù)量與檢測信號發(fā)射器發(fā)出的檢測光信號的數(shù)量之間的差異，或基于光接收部件接收的檢測光信號的持續(xù)時長與檢測信號發(fā)射器發(fā)出的檢測光信號的持續(xù)時長之間的差異，判斷是否具有障礙物。通過處理器直接判斷，節(jié)省人力成本，提高用戶體驗(yàn)。

另外，檢測系統(tǒng)包括：檢測信號接收器，檢測信號接收器設(shè)置在檢測臂上，用于接收檢測光信號的反射光信號；第二處理器，用于基于發(fā)出檢測光信號與接收反射光信號的時間間隔，確定障礙物相對于檢測臂的距離。單側(cè)檢測更加人性化，并且自動檢測出障礙物的距離，進(jìn)一步提高檢測效果。

另外，支撐座底部還設(shè)置有多個調(diào)平支架，各調(diào)平支架上分別設(shè)置有調(diào)平旋鈕，調(diào)平旋鈕用于調(diào)節(jié)相應(yīng)調(diào)平支架的高度以使檢測臂水平。進(jìn)一步保證測試準(zhǔn)確度。

另外，還包括水平檢測系統(tǒng)，用于檢測檢測臂是否處于水平。