[發(fā)明專利]晶圓傳送盒

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910833691.6
• 申請(qǐng)日: 2019-09-04
• 公開（公告）號(hào): CN110718489A
• 公開（公告）日: 2020-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬霏霏;王慶;高旭;程仕峰;陳金星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 44202 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

1.一種晶圓傳送盒，其特征在于，包括殼體和調(diào)光組件，所述殼體具有容置空間和透光部，所述容置空間用于收容晶圓，所述透光部用于透過外界光線至所述容置空間，所述調(diào)光組件設(shè)于所述殼體上并蓋于所述透光部上，所述調(diào)光組件能在透光狀態(tài)和遮光狀態(tài)之間切換，當(dāng)所述調(diào)光組件處于透光狀態(tài)時(shí)，允許外界光線透過進(jìn)入所述容置空間，當(dāng)所述調(diào)光組件處于遮光狀態(tài)時(shí)，所述調(diào)光組件用于遮蔽外界光線。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述晶圓傳送盒包括驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件與所述調(diào)光組件連接，以驅(qū)動(dòng)所述調(diào)光組件在透光狀態(tài)和遮光狀態(tài)之間切換。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述調(diào)光組件包括光學(xué)元件，所述光學(xué)元件設(shè)于所述殼體并蓋于所述透光部上，所述驅(qū)動(dòng)組件與所述光學(xué)元件電連接，所述驅(qū)動(dòng)組件用于發(fā)出第一控制信號(hào)及第二控制信號(hào)，所述光學(xué)元件在所述第一控制信號(hào)的控制下處于透光狀態(tài)，所述光學(xué)元件在所述第二控制信號(hào)的控制下處于遮光狀態(tài)。

4.如權(quán)利要求3所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述透光部為開設(shè)在所述殼體上的窗口，所述光學(xué)元件密封所述窗口。

5.如權(quán)利要求2所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述調(diào)光組件包括遮光件，所述遮光件設(shè)于所述殼體上并與所述驅(qū)動(dòng)組件連接；所述驅(qū)動(dòng)組件控制所述遮光件遠(yuǎn)離所述透光部時(shí)，所述調(diào)光組件處于透光狀態(tài)，所述驅(qū)動(dòng)組件控制所述遮光件與所述透光部層疊時(shí)，所述調(diào)光組件處于遮光狀態(tài)。

6.如權(quán)利要求5所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述透光部為開設(shè)在所述殼體上的窗口，所述調(diào)光組件還包括透光板，所述透光板裝于所述窗口上并密封所述窗口。

7.如權(quán)利要求6所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述晶圓傳送盒包括滑軌，所述滑軌設(shè)于所述殼體上并位于所述透光部的邊緣，所述遮光件的邊緣部分位于所述滑軌內(nèi)，所述驅(qū)動(dòng)組件控制所述遮光件在所述滑軌內(nèi)滑動(dòng)。

8.如權(quán)利要求7所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述殼體上設(shè)有收容空間，所述驅(qū)動(dòng)組件收容于所述收容空間內(nèi)，當(dāng)所述遮光件遠(yuǎn)離所述透光部時(shí)，所述遮光件收容于所述收容空間內(nèi)。

9.如權(quán)利要求8所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件包括伸縮件和控制器，所述伸縮件設(shè)于所述收容空間內(nèi)并與所述遮光件連接，所述控制器與所述伸縮件連接，以控制所述伸縮件帶動(dòng)所述遮光件遠(yuǎn)離或?qū)盈B于所述透光部。

10.如權(quán)利要求8所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件包括電機(jī)和卷軸，所述遮光件一端連接于所述卷軸上，所述電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)所述卷軸轉(zhuǎn)動(dòng)以使所述遮光件收容于所述收容空間內(nèi)或伸出所述收容空間外。

11.如權(quán)利要求2所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述晶圓傳送盒包括信息接收器，所述信息接收器與所述驅(qū)動(dòng)組件電連接，所述信息接收器用于接收制程信息，所述驅(qū)動(dòng)組件根據(jù)所述制程信息驅(qū)動(dòng)所述調(diào)光組件。

12.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述晶圓傳送盒包括把手，所述把手設(shè)于所述殼體上并與所述調(diào)光組件間隔設(shè)置。

13.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述晶圓傳送盒包括連接部，所述連接部設(shè)于所述殼體的頂壁上，用于在晶圓加工過程中與轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)連接。

14.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述透光部包括透光基板。

15.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述晶圓傳送盒包括光線傳感器，所述光線傳感器設(shè)于所述容置空間，用于監(jiān)測(cè)調(diào)光組件在遮光狀態(tài)時(shí)所述容置空間中的透光度。