[發明專利]用于檢測物體中的缺陷的裝置及其方法

在審

• 申請號: 201910829297.5
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN111855686A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 張昭煒;澤納布·馬達維普爾
• 申請（專利權）人: 視泰科技控股公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 李珊珊

1.一種用于檢測物體(202)中的缺陷(209)的方法(1)，包括以下步驟：

(i)使用至少一個光源(201)照射所述物體(202)，其中來自所述光源(201)的光在所述物體(202)內透反射，導致從所述物體(202)的亞表面(211)照射(101)；和

(ii)所述物體(202)被至少一個檢測器(203)連續檢查，當所述物體(202)相對于所述檢測器(203)平移并且所述檢測器(203)能夠檢測來自所述物體(202)的透反射光(207)時(103)；

其特征在于，

(iii)通過評估陰影表示(208)和來自所述物體(202)亞表面(211)的所述透反射光(207)之間的強度差來識別所述缺陷(209)，其中所述陰影表示(208)是通過在所述物體(202)被平移時由于所述缺陷(209)中斷所述透反射光(207)的傳輸而產生的(105)。

2.如權利要求1所述的用于檢測物體(202)中的缺陷(209)的方法(1)，其中所述物體(202)能夠為太陽能電池、硅晶片等。

3.如權利要求1所述的用于檢測物體中的缺陷(209)的方法(1)，其中所述檢測器(203)包括線掃描相機等。

4.一種用于檢測物體(202)中的缺陷(209)的裝置(5)，其中所述裝置(5)包括：

至少一個光源(201)，所述至少一個光源(201)定位在結構中，其中所述光源(201)的光路大體上垂直于所述物體(202)的第一表面(210)，并且來自所述光源(201)的光在所述物體(202)內透反射，導致從所述物體(202)的亞表面(211)照射；

至少一個檢測器(203)，所述至少一個檢測器(203)定位在結構中，以檢測來自所述物體(202)的透反射光；和

至少一個傳送器(204)，所述至少一個傳送器(204)能夠提供所述物體(202)相對于所述檢測器(203)和所述光源(201)的連續平移；

其特征在于，

所述光源(201)和所述檢測器(203)以這樣的結構布置，其中所述檢測器(203)能夠檢測所述物體(202)上發生光的透反射的至少一個區域和所述物體(202)上通過在被平移時由于所述缺陷(209)中斷所述透反射光(207)的傳輸而產生陰影表示(208)的至少一個區域。

5.如權利要求4所述的用于檢測物體(202)中的缺陷(209)的裝置(5)，其中所述裝置(5)通過評估所述陰影表示(208)和來自所述物體(202)亞表面(211)的所述透反射光(207)之間的強度差來識別所述缺陷(209)。

6.如權利要求4所述的用于檢測物體(202)中的缺陷(209)的裝置(5)，其中所述物體(202)能夠為太陽能電池、硅晶片等。

7.如權利要求4所述的用于檢測物體(202)中的缺陷(209)的裝置(5)，其中所述檢測器(203)包括線掃描相機等。