[發明專利]波導

有效

• 申請號: 201910818569.1
• 申請日: 2019-08-30
• 公開（公告）號: CN110873927B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: C·鮑多特;S·蓋爾貝;P·勒邁特瑞
• 申請（專利權）人: 意法半導體（克洛爾2）公司;意法半導體(ALPS)有限公司
• 主分類號: G02B6/10
• 分類號: G02B6/10;G02B6/12;G02B6/122
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

本公開的實施例涉及波導。在一個實施例中，波導包括上游部分、下游部分和上游部分和下游部分之間的中間部分。第一波帶設置在絕緣層上，該第一波帶沿第一方向定向。第一側向條帶和第二側向條帶，設置在第一波帶的任一側，該第一側向條帶和第二側向條帶沿中間部分變薄或者中斷。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2018年8月31日提交的法國專利申請號18/57847 的優先權，其內容通過整體引用并入于此。

技術領域

本公開涉及波導領域，并且更特別地涉及光子(光電和/或光學) 集成電路的波導。

背景技術

在集成光子電路中，光信號可以通過波導傳輸。當前，波導的截面的尺寸被選擇以使得信號的給定光學模式是通過波導傳播的唯一導模，該給定光學模式通常是橫電(TEo)和/或橫磁(TMo)基本模式。然而，波導材料中的不均勻性和/或波導幾何形狀的變化可能導致波導中的寄生光學模式的發生，即，在唯一導模是基本模式時高階光學模式的發生。這樣的雜散模式是干擾的，特別是由于以下事實：在導模和雜散模式之間可能出現有害的干擾。

發明內容

期望具有包括雜散模式濾波設備的波導，其克服了已知雜散模式濾波設備的至少某些缺點。

實施例提供了包括雜散模式濾波設備的波導，其中雜散模式濾波具有對導模的傳播相對有限的影響，或者甚至無影響。

因此，實施例提供了一種波導，包括第一波帶和設置在該第一波帶的任一側的兩個側向條帶，該兩條帶沿著該波帶的中間部分變薄或者中斷。

根據一個實施例，該中間部分是第一波帶長度的一部分。

根據一個實施例，各條帶與第一波帶相接觸。

根據一個實施例，對于各條帶，第二波帶和第一波帶被布置在該條帶的任一側上。

根據一個實施例，各第二波帶平行于第一波帶延伸。

根據一個實施例，各第二波帶，沿著中間部分，至少部分由選擇的用以吸收旨在通過該波導傳播的信號的波長的材料制成。

根據一個實施例，該材料選自包括如下的組：硅化物，鍺，碳化硅，鍺-硅，錫，鈦，氮化鈦，鉭，氮化鉭，鎢，銅，以及前述材料的合金或者混合物。

根據一個實施例，中間部分插入在第一波帶的兩個部分之間。

根據一個實施例，沿著第一波帶的兩個部分中的每個，該條帶被配置為使得旨在通過波導傳播的引導光學模式的有效光學折射指數漸進地變化，一直到中間部分。

根據一個實施例，各條帶沿著中間部分被中斷，并且沿著第一波帶的兩個部分中的每個，該條帶的寬度漸進地減少，一直到中間部分。

根據一個實施例，各條帶沿著中間部分變薄，并且沿著第一波帶的兩個部分中的每個，各條帶包括上部，該上部的寬度一直減小到中間部分。

根據一個實施例，中間部分是縱長彎曲的。

根據一個實施例，波帶和條帶設置在絕緣體上硅類型的絕緣層上。

另一個實施例提供了一種集成光子電路，包括至少一個如上所述的波導。

另一個實施例提供了一種濾除通過如上所述的波導傳播的光信號的雜散模式的方法。

附圖說明

在下面對特定實施例的非限制性描述中，將結合附圖詳細討論前述和其他特征和優點。

圖1是波導的實施例的局部簡化俯視圖；

圖2示出了圖1的波導沿圖1的相應平面AA、BB和CC的簡化截面圖A、B和C；以及