[發明專利]一種電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法

在審

• 申請號: 201910817847.1
• 申請日: 2019-08-30
• 公開（公告）號: CN110455814A
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: 劉曉芳;楊國洪;曾召
• 申請（專利權）人: 彩虹顯示器件股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/958;G01N23/2202;G01N23/2206;G01N23/203;G01N23/20091
• 代理公司: 61200 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 李紅霖<國際申請>=<國際公布>=<進入

本發明公開了一種電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，屬于電子玻璃缺陷檢測技術領域。一種電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，包括以下步驟：1)將樣品放在光學顯微鏡下，找到針狀異物并做第一標記線，所述第一標記線所在的平面位于在針狀異物的截面上；2)沿所述第一標記線截斷樣品，得到斷面為針狀異物的暴露面的樣品；3)找到樣品斷面上的針狀異物截面，在針狀異物截面的外圍做第二標記線；4)利用電子顯微鏡找到針狀異物截面，并利用能譜儀對針狀異物進行成分分析。該電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，解決了電鏡下尋找針狀異物速度慢、效率低下的問題。

技術領域

本發明涉及電子玻璃缺陷檢測技術領域，尤其是指一種電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法。

背景技術

電子玻璃廣泛應用于平板顯示器制造領域，作為平板顯示器件的上、下兩個基板，都需要精細的微觀半導體工藝加工制程，對玻璃材料的純凈、均勻性要求都是格外高，尤其是對玻璃液中的各種雜質和夾雜物非常敏感。因為雜質和夾雜物會在玻璃表面產生局部小變形，從而在顯示器的TFT和彩色濾光片生產過程中產生性能缺陷。這些缺陷會對TFT單元的彩色濾光片造成顯著影響，因此如何減少夾雜物始終是重要問題。

電子玻璃在制造過程中要先將玻璃料方在窯爐內熔融、澄清、均化，為下道工序提供合格均質的玻璃液。在電子玻璃生產過程中，會有一些針狀異物通過各種方式熔入玻璃液中，其中一些熔入的金屬會析出為細長的針狀異物夾雜在玻璃板中，這些針狀異物會影響基板玻璃的透光性并造成玻璃表面的微變形，影響后續的加工性，為有效控制此種不良針狀異物，必須對針狀異物的成分進行檢測分析，以便針對性的采取工藝對策。

傳統的檢測分析方法是利用電子顯微鏡和能譜儀進行檢測，測試前必須將針狀異物暴露在表面，因此檢測前需要對樣品進行打磨處理，使針狀異物暴露出來。但是這種打磨處理方式存在盲目性，打磨后的截面在電鏡下觀察，往往需要多次打磨才能在電鏡下找到針狀異物，且因針狀異物因截面極小，在電鏡下尋找也存在難度，耗時耗力且效率低下。

發明內容

本發明的目的在于克服電子玻璃針狀異物較小在電鏡下定位較為困難的缺點，提供一種電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法。

為達到上述目的，本發明采用以下技術方案予以實現：

一種電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，包括以下步驟：

1)將樣品放在光學顯微鏡下，找到針狀異物并做第一標記線，所述第一標記線所在的平面位于在針狀異物的截面上；

2)沿所述第一標記線截斷樣品，得到斷面為針狀異物的暴露面的樣品；

3)利用光學顯微鏡找到樣品斷面上的針狀異物截面，在針狀異物截面的外圍做第二標記線；

4)將做好標記的樣品鍍膜后，利用電子顯微鏡找到針狀異物截面，并利用能譜儀對針狀異物進行成分分析。

進一步的，步驟3)中，利用光學顯微鏡找到樣品斷面上的針狀異物截面時，光學顯微鏡的倍數為200倍。

進一步的，光學顯微鏡為Nikon ECLIPSE 50i POL透射式顯微鏡。

進一步的，步驟4)鍍膜采用的為Quorum Technologies的Q150R。

進一步的，步驟4)中，電子顯微鏡采用的為ZEISS EVO MA15電鏡，能譜儀是OXFORDX-MAXN。

與現有技術相比，本發明具有以下有益效果：