[發(fā)明專利]一種電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910817847.1 | 申請日： | 2019-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN110455814A | 公開（公告）日： | 2019-11-15 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劉曉芳;楊國洪;曾召 | 申請（專利權）人： | 彩虹顯示器件股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/958;G01N23/2202;G01N23/2206;G01N23/203;G01N23/20091 |
| 代理公司： | 61200 西安通大專利代理有限責任公司 | 代理人： | 李紅霖<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 712000陜西省咸陽市秦都區(qū)*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 針狀 異物 電子玻璃 標記線 檢測 缺陷檢測技術 電子顯微鏡 光學顯微鏡 成分分析 樣品斷面 能譜儀 截斷 外圍 暴露 | ||
1.一種電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)將樣品(1)放在光學顯微鏡下，找到針狀異物(2)并做第一標記線(3)，所述第一標記線(3)所在的平面位于在針狀異物(2)的截面上；
2)沿所述第一標記線(3)截斷樣品，得到斷面為針狀異物(2)的暴露面的樣品；
3)利用光學顯微鏡找到樣品斷面上的針狀異物(2)截面，在針狀異物截面的外圍做第二標記線(4)；
4)將做好標記的樣品(1)鍍膜后，利用電子顯微鏡找到針狀異物(2)截面，并利用能譜儀對針狀異物(2)進行成分分析。
2.根據(jù)權利要求1所述的電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，其特征在于，步驟3)中，利用光學顯微鏡找到樣品斷面上的針狀異物(2)截面時，光學顯微鏡的倍數(shù)為200倍。
3.根據(jù)權利要求1所述的電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，其特征在于，光學顯微鏡為Nikon ECLIPSE 50iPOL透射式顯微鏡。
4.根據(jù)權利要求1所述的電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，其特征在于，步驟4)鍍膜采用的為Quorum Technologies的Q150R。
5.根據(jù)權利要求1所述的電子玻璃中針狀異物成分的檢測方法，其特征在于，步驟4)中，電子顯微鏡采用的為ZEISS EVO MA15電鏡，能譜儀是OXFORD X-MAXN。
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