[發明專利]一種內置于真空腔體的磁鋼擺動式端頭組件

在審

• 申請號: 201910814429.7
• 申請日: 2019-08-30
• 公開（公告）號: CN110453188A
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: 朱世元;閆乃明
• 申請（專利權）人: 深圳市金耀玻璃機械有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 50219 重慶百潤洪知識產權代理有限公司
• 代理人: 程宇<國際申請>=<國際公布>=<進入國

一種內置于真空腔體的磁鋼擺動式端頭組件，包括裝置本體、磁鋼、靶管、磁鋼芯軸、軸承、蓋板、端頭、第一傳動部件、第二傳動部件、靶管旋轉傳動件和磁鋼擺動傳動件；磁鋼與靶管均轉動設置在裝置本體內部；裝置本體設置在端頭的上方；磁鋼的底部與磁鋼芯軸連接；磁鋼芯軸轉動安裝在端頭內部，磁鋼芯軸外周設置有軸承；磁鋼芯軸下部與第一傳動部件傳動連接；靶管設置在磁鋼的外周，靶管的下部與第二傳動部件傳動連接；磁鋼擺動傳動件一端與第一傳動部件傳動連接，另一端與馬達動力連接；靶管旋轉傳動件的一端與第二傳動部件傳動連接，另一端連接動力機構。本發明中，具有更好的靶材濺射沉積速率，以及更小的安裝空間和更加優化的產線布局。

技術領域

本發明涉及磁控濺射鍍膜的端頭設備領域，尤其涉及一種內置于真空腔體的磁鋼擺動式端頭組件。

背景技術

在旋轉陰極連續鍍膜生產線上，端頭帶動靶材旋轉，在滿足一定的工藝環境要求下，將靶材濺射到玻璃基片上，以獲得符合產品要求的膜層。

現有設備中，包括以下三種結構：1、端頭內置于真空腔體且磁鋼靜止不動式；2、端頭外置于真空腔體且磁鋼靜止不動式；3、端頭外置于真空腔體且磁鋼擺動式。

如圖1所示，為端頭內置于真空腔體且磁鋼靜止不動式的結構，此端頭結構主要缺點是：磁鋼無法擺動，影響靶材濺射速率及成膜均一性。

如圖2所示，為端頭外置于真空腔體且磁鋼靜止不動式的結構，此端頭結構主要缺點是：磁鋼無法擺動，端頭外形尺寸稍大，占用較大空間。

如圖3所示，端頭外置于真空腔體且磁鋼擺動式的結構，此端頭結構主要缺點是：端頭外形尺寸較大，占用更多空間，不利于整線布局，使用較為不便。

因此，如何獲得更好的靶材濺射沉積速率以及更小的安裝空間，以及如何優化產線布局，是需要解決的問題。

發明內容

(一)發明目的

為解決背景技術中存在的技術問題，本發明提出一種內置于真空腔體的磁鋼擺動式端頭組件，具有更好的靶材濺射沉積速率，以及更小的安裝空間和更加優化的產線布局。

(二)技術方案

為解決上述問題，本發明提供了一種內置于真空腔體的磁鋼擺動式端頭組件，包括裝置本體、磁鋼、靶管、磁鋼芯軸、軸承、蓋板、端頭、第一傳動部件、第二傳動部件、靶管旋轉傳動件和磁鋼擺動傳動件；

磁鋼與靶管均轉動設置在裝置本體內部；裝置本體設置在端頭的上方；蓋板設置在端頭的一側；其中，蓋板朝向裝置本體與端頭的一側為真空環境，蓋板另一側為大氣環境；

磁鋼的底部與磁鋼芯軸連接；磁鋼芯軸轉動安裝在端頭內部，其中，磁鋼芯軸頂部和中部的外周均設置有軸承，軸承設置在端頭內部；磁鋼芯軸下部與第一傳動部件傳動連接；

靶管與端頭通過卡箍連接，磁鋼設置在靶管內部；靶管的下部與第二傳動部件傳動連接；

磁鋼擺動傳動件的一端穿過蓋板伸入端頭內部并與第一傳動部件傳動連接，其另一端與馬達動力連接；

靶管旋轉傳動件的一端穿過蓋板伸入端頭內部并與第二傳動部件傳動連接，其另一端連接動力機構。

優選的，馬達上設有用于控制馬達轉動角度的控制器和控制系統。

本發明的上述技術方案具有如下有益的技術效果：

本發明中，靶管濺射沉積速率更高，膜層均一性更好，相比于磁鋼靜止不動時的效果更好，具有更小的安裝空間和更加優化的產線布局。

本發明中，實現磁鋼在靶管內部旋轉的過程，馬達通過磁鋼擺動傳動件、第一傳動部件而帶動磁鋼的擺動，控制器和控制系統用于控制馬達旋轉角度，從而實現對磁鋼的擺動的角度的控制。

附圖說明