[發明專利]一種內置于真空腔體的磁鋼擺動式端頭組件在審
| 申請號： | 201910814429.7 | 申請日： | 2019-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN110453188A | 公開（公告）日： | 2019-11-15 |
| 發明（設計）人： | 朱世元;閆乃明 | 申請（專利權）人： | 深圳市金耀玻璃機械有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 50219 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 | 代理人： | 程宇<國際申請>=<國際公布>=<進入國 |
| 地址： | 518103廣東省深圳市寶*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磁鋼 傳動部件 靶管 磁鋼芯軸 傳動連接 裝置本體 端頭 旋轉傳動件 擺動傳動 外周 軸承 安裝空間 動力機構 動力連接 端頭組件 濺射沉積 一端連接 真空腔體 轉動安裝 轉動設置 擺動式 蓋板 靶材 產線 馬達 優化 | ||
【權利要求書】：
1.一種內置于真空腔體的磁鋼擺動式端頭組件，其特征在于，包括裝置本體(3)、磁鋼(1)、靶管(2)、磁鋼芯軸(6)、軸承(7)、蓋板(4)、端頭(5)、第一傳動部件(8)、第二傳動部件、靶管旋轉傳動件(9)和磁鋼擺動傳動件(10)；
磁鋼(1)與靶管(2)均轉動設置在裝置本體(3)內部；裝置本體(3)設置在端頭(5)的上方；蓋板(4)設置在端頭(5)的一側；其中，蓋板(4)朝向裝置本體(3)與端頭(5)的一側為真空環境，蓋板(4)另一側為大氣環境；
磁鋼(1)的底部與磁鋼芯軸(6)連接；磁鋼芯軸(6)轉動安裝在端頭(5)內部，其中，磁鋼芯軸(6)頂部和中部的外周均設置有軸承(7)，軸承(7)設置在端頭(5)內部；磁鋼芯軸(6)下部與第一傳動部件(8)傳動連接；
靶管(2)與端頭(5)通過卡箍連接，磁鋼(1)設置在靶管(2)內部；靶管(2)的下部與第二傳動部件傳動連接；
磁鋼擺動傳動件(10)的一端穿過蓋板(4)伸入端頭(5)內部并與第一傳動部件(8)傳動連接，其另一端與馬達動力連接；
靶管旋轉傳動件(9)的一端穿過蓋板(4)伸入端頭(5)內部并與第二傳動部件傳動連接，其另一端連接動力機構。
2.根據權利要求1所述的內置于真空腔體的磁鋼擺動式端頭組件，其特征在于，馬達上設有用于控制馬達轉動角度的控制器和控制系統。
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