[發明專利]一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝有效
| 申請號: | 201910805965.0 | 申請日: | 2019-08-29 |
| 公開(公告)號: | CN110534437B | 公開(公告)日: | 2021-03-16 |
| 發明(設計)人: | 宗榮生;戴赟彬;白艷;侯廣西;蔣超 | 申請(專利權)人: | 宜興市三鑫電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/60 |
| 代理公司: | 無錫市天宇知識產權代理事務所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 蔣何棟 |
| 地址: | 214241 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 igbt 模塊 新型 制備 工藝 | ||
1.一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝,其特征在于:所述IGBT模塊包括襯板(2)、基板(1)、母排(5)、電極(4)、半導體芯片(3)和外殼,所述襯板(2)上固定連接有若干定位筒(6),所述定位筒(6)內開鑿有柱形孔,所述柱形孔下端壁上固定連接有導電塊(8),且導電塊(8)下端與襯板(2)上的電路連接,所述母排(5)和電極(4)的引腳和端子處均固定連接有導電針(7),且導電針(7)分別與母排(5)和電極(4)一體成型,所述IGBT模塊的制備工藝包括以下步驟:
步驟一、原材準備:襯板(2)按照設計電路拓撲在表面刻蝕出電路版圖,確定半導體芯片(3)、母排(5)和電極(4)的位置;
步驟二、元件檢查:分別檢查襯板(2)、基板(1)、母排(5)、電極(4)、半導體芯片(3)和外殼,確保合格后進入步驟三,否則更換合格的元件;
步驟三、第一次焊接:將半導體芯片(3)預先焊接在襯板(2)上,得到襯板(2)組件;
步驟四、第二次焊接:將襯板(2)組件焊接至基板(1)上,得到基板(1)組件;
步驟五、元件裝配:將焊膏滴加至定位筒(6)中,將母排(5)和電極(4)上的導電針(7)按照設計位置對準插入,實現初定位后得到IGBT模塊胚體;
步驟六、第三次焊接:將IGBT模塊胚體送進隧道爐的進口,將隧道爐履帶的運轉速度設定為0.003-0.005m/s,控制隧道爐焊接段溫度在220-350℃范圍內,在焊接全程中需通氮氣保護,進行回流焊接,從隧道爐出口取出IGBT模塊胚體;
步驟七、X光探測:用X光掃描儀對焊接好的IGBT模塊胚體進行探測,剔除空洞率不符合要求的胚體;
步驟八、外殼安裝:將IGBT模塊胚體與外殼和其它結構件按要求組裝、整理;
步驟九、灌膠保護:通過外殼上的注入口,向IGBT模塊胚體中灌注硅凝膠;
步驟十、高溫老化:在120-150℃溫度范圍內,進行12-24h的老化;
步驟十一、端子成型:將引出的電極(4)端子折彎、整形、固定,得到IGBT模塊成品;
步驟十二、測試出廠:對IGBT模塊成品測試后進行標示包裝。
2.根據權利要求1所述的一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝,其特征在于:所述導電塊(8)上端開鑿有半球電連槽(9),所述導電針(7)包括延伸部(71)和半球連接部(72),且半球連接部(72)與半球電連槽(9)相匹配,所述延伸部(71)和半球電連槽(9)之間涂覆有焊膏層(10)。
3.根據權利要求2所述的一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝,其特征在于:所述半球電連槽(9)的半徑與導電塊(8)的長度比為1∶1.2-1.5。
4.根據權利要求2所述的一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝,其特征在于:所述延伸部(71)與半球連接部(72)的長度比為1∶0.4-2。
5.根據權利要求2所述的一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝,其特征在于:所述導電針(7)位于定位筒(6)內的部分與定位筒(6)的長度比為1∶1.2-1.4,所述導電針(7)位于定位筒(6)外的部分與導電針(7)的長度比為1∶5-6。
6.根據權利要求1所述的一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝,其特征在于:所述第一次焊接時半導體芯片(3)采用焊片、鉬片和焊片的形式進行焊接,所述半導體芯片(3)包括IGBT芯片和FWD芯片。
7.根據權利要求1所述的一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝,其特征在于:所述第二次焊接時襯板(2)組件直接采用焊片焊接至基板(1)上。
8.根據權利要求1所述的一種基于IGBT模塊的母排的新型制備工藝,其特征在于:所述隧道爐焊接段依次包括預熱階段、焊接階段和保溫階段,所述預熱階段、焊接階段和保溫階段的長度比為1∶5-10∶1-2。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





