[發明專利]一種基于玻璃通孔的三維集成濾波器

有效

• 申請號: 201910796834.0
• 申請日: 2019-08-27
• 公開（公告）號: CN110676541B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 劉陽;劉曉賢;盧啟軍;尹湘坤;朱樟明;楊銀堂
• 申請（專利權）人: 西安電子科技大學
• 主分類號: H01P1/20
• 分類號: H01P1/20
• 代理公司: 西安嘉思特知識產權代理事務所(普通合伙) 61230
• 代理人: 張捷

1.一種基于玻璃通孔的三維集成濾波器，其特征在于，所述濾波器包括：

第一層(10)，包括若干第一金屬板和若干第一金屬線，所述若干第一金屬板與所述第一金屬線連接，所述若干第一金屬板包括第一子金屬板(101)、第二子金屬板(102)，所述若干第一金屬線包括第一子金屬線(103)和若干第二子金屬線(104)，其中，

所述第一子金屬線(103)圍成第一區域結構；

所述第一子金屬板(101)和所述第二子金屬板(102)設置于所述第一區域結構中；

所述第一子金屬板(101)和所述第二子金屬板(102)兩端均分別通過所述第二子金屬線(104)與所述第一子金屬線(103)連接；

第二層(20)，設置于所述第一層(10)上方，包括介質基板(201)和若干第二金屬板(202)，所述介質基板(201)設置于所述第一金屬板(202)和所述第一金屬線上方，所述第二金屬板(202)以第一等間距依次設置于所述介質基板(201)內，且兩邊最外側的所述第二金屬板(202)分別設置于所述第一子金屬板(101)和所述第二子金屬板(102)正上方；

第三層(30)，設置于所述第二層(20)上方，包括玻璃基板(301)和若干玻璃通孔，所述玻璃基板(301)設置于第二層(20)上方，所述若干玻璃通孔均貫穿所述玻璃基板(301)，所述若干玻璃通孔包括若干第一玻璃通孔(302)和若干第二玻璃通孔(303)，其中，

所述若干第一玻璃通孔(302)貫穿所述玻璃基板(301)，所述第一玻璃通孔(302)的正投影位于所述第二金屬板(202)上，每個所述第一玻璃通孔(302)填充有第一金屬柱；

所述若干第二玻璃通孔(303)貫穿所述玻璃基板(301)，且所述若干第二玻璃通孔(303)的正投影位于所述第一子金屬線(103)上，每個所述第二玻璃通孔(303)填充有第二金屬柱；

第四層(40)，設置于所述第三層(30)上方，包括若干第三金屬板(401)和第二金屬線(402)，所述第二金屬線(402)設置于所述第三層(30)上方且圍成第二區域結構，所述若干第三金屬板(401)設置于所述第二區域結構內，所述第三金屬板(401)以所述第一等間距依次設置于所述第二區域結構中，其中，

所述第三金屬板(401)通過所述第一金屬柱連通至所述第二金屬板(202)；

所述第二金屬線(402)通過所述第二金屬柱連通至所述第一子金屬線(103)。

2.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述若干第一玻璃通孔(302)在所述玻璃基板(301)上呈若干行分布，每一行所述第一玻璃通孔(302)之間以第二等間距分布，相鄰兩行所述第一玻璃通孔(302)中的相鄰兩個所述第一玻璃通孔(302)之間的垂直距離為第三等間距，且每個所述第二金屬板(202)的對角線頂點分布有兩個所述第一玻璃通孔(302)；

所述若干第二玻璃通孔(303)設置于所述第一子金屬線(103)正上方的所述玻璃基板(301)的四個頂點。

3.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述第一子金屬線(103)和所述第二金屬線(402)的寬度均大于等于所述第二玻璃通孔(303)的直徑。

4.根據權利要求2所述的濾波器，其特征在于，所述第一子金屬板(101)、所述第二子金屬板(102)、所述第二金屬板(202)和所述第三金屬板(401)大小、形狀均相同，且所述第一子金屬板(101)、所述第二子金屬板(102)、所述第二金屬板(202)和所述第三金屬板(401)的第一邊的長度均小于所述第二等間距，所述第一子金屬板(101)、所述第二子金屬板(102)、所述第二金屬板(202)和所述第三金屬板(401)的第二邊的長度均大于所述第三等間距。

5.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述第一子金屬板(101)、所述第二子金屬板(102)、所述第二金屬板(202)均設置于相鄰所述第三金屬板(401)的中垂線的正下方。