[發明專利]一種高精度晶圓研磨機

有效

• 申請號: 201910790864.0
• 申請日: 2019-08-26
• 公開（公告）號: CN110625519B
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 王小永
• 申請（專利權）人: 蘇州冠博控制科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02
• 代理公司: 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297
• 代理人: 崔巍

1.一種高精度晶圓研磨機，其結構包括機座(1)、機箱(2)、升降軌道(3)、電機(4)、支撐盤(5)、拋光座(6)、護罩(7)、噴嘴(8)、拋光盤(9)、固定底盤(10)、研磨桿(11)，其特征在于：

所述機座(1)上固定有機箱(2)，在機座(1)的底端設有六個支撐腳，所述機箱(2)側面機械連接有升降軌道(3)，所述升降軌道(3)通過電驅動，且滑動連接有支撐盤(5)，所述支撐盤(5)上采用軸承連接的方式固定有電機(4)，所述電機(4)與拋光座(6)采用電性連接，所述拋光座(6)組成有拋光盤(9)與固定底盤(10)、研磨桿(11)，且均設置在護罩(7)內，所述拋光盤(9)與研磨桿(11)之間放置有晶圓(12)，所述拋光盤(9)與固定底盤(10)為一體化結構,所述噴嘴(8)設于拋光盤(9)的左側上方，且噴嘴(8)和拋光盤(9)間距保持在10-20cm；

所述噴嘴(8)中設有刮片組件(8a)、擴充腔(8b)、高速轉盤(8c)、保護邊圈(8d)、噴口(8e)，所述刮片組件(8a)設有三個，且呈圓周均勻分布在擴充腔(8b)外邊沿，所述刮片組件(8a)固定在高速轉盤(8c)內表壁，所述高速轉盤(8c)與刮片組件(8a)均置于保護邊圈(8d)的內部，所述噴口(8e)為漏斗形結構，所述高速轉盤(8c)通過置于其內部的小型電機驅動；

所述擴充腔(8b)、高速轉盤(8c)、保護邊圈(8d)同軸安裝，所述刮片組件(8a)由連軸(a1)、中心軸承(a2)、刮片(a3)組成，所述連軸(a1)通過中心軸承(a2)固定有刮片(a3)。