[發(fā)明專利]應(yīng)用于刻蝕機(jī)臺(tái)分氣盤安裝的安裝件及分氣盤的安裝方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910788114.X
• 申請(qǐng)日: 2019-08-26
• 公開（公告）號(hào): CN110504151B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧必文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 張彥敏

1.一種應(yīng)用于刻蝕機(jī)臺(tái)分氣盤安裝的安裝件，氧化膜刻蝕機(jī)臺(tái)的分氣盤包括多個(gè)螺絲孔，其中部分螺絲孔靠近分氣盤的外圍，在分氣盤固定盤上對(duì)應(yīng)分氣盤上的靠近分氣盤外圍的螺絲孔的位置亦包括多個(gè)螺絲孔，多個(gè)螺絲穿過分氣盤上的螺絲孔和分氣盤固定盤上的螺絲孔以將分氣盤固定至分氣盤固定盤上，其特征在于，安裝件包括：上環(huán)部、下環(huán)部和連接上環(huán)部與下環(huán)部的中間連接部，其中上環(huán)部、下環(huán)部和中間連接部均具有內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁而構(gòu)成一中空結(jié)構(gòu)，該中空結(jié)構(gòu)包括中空部，該中空部用于容納分氣盤，且上環(huán)部的內(nèi)側(cè)壁上包括多個(gè)定位部件，其中定位部件的個(gè)數(shù)不大于分氣盤上靠近分氣盤的外圍的螺絲孔的個(gè)數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的應(yīng)用于刻蝕機(jī)臺(tái)分氣盤安裝的安裝件，其特征在于，安裝件的上環(huán)部的外徑d1為333.4±0.5mm,上環(huán)部的側(cè)壁厚度為2±0.2mm,高度為10±0.5mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的應(yīng)用于刻蝕機(jī)臺(tái)分氣盤安裝的安裝件，其特征在于，安裝件的下環(huán)部的外徑d2為330±0.1mm,下環(huán)部的側(cè)壁厚度為0.23±0.2mm,高度為5±0.5mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的應(yīng)用于刻蝕機(jī)臺(tái)分氣盤安裝的安裝件，其特征在于，安裝件的中間連接部的內(nèi)徑為330±0.1mm,外徑為333.4±0.5mm,中間連接層厚度為0.5±0.2mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的應(yīng)用于刻蝕機(jī)臺(tái)分氣盤安裝的安裝件，其特征在于，安裝件的定位部件為位于上環(huán)部的內(nèi)側(cè)壁的凹陷缺口。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的應(yīng)用于刻蝕機(jī)臺(tái)分氣盤安裝的安裝件，其特征在于，安裝件的定位部件為定位標(biāo)識(shí)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1的應(yīng)用于刻蝕機(jī)臺(tái)分氣盤安裝的安裝件，其特征在于，安裝件為特氟龍材質(zhì)。

8.一種刻蝕機(jī)臺(tái)的分氣盤的安裝方法，其特征在于，包括：

S1：提供一氧化膜刻蝕機(jī)臺(tái)，該氧化膜刻蝕機(jī)臺(tái)中包括一分氣盤固定盤，其中分氣盤固定盤上包括多個(gè)螺絲孔，且部分螺絲孔靠近分氣盤固定盤的外圍；

S2：提供一環(huán)形結(jié)構(gòu)，將環(huán)形結(jié)構(gòu)安裝于分氣盤固定盤上；

S3：提供一安裝件，該安裝件包括上環(huán)部、下環(huán)部和連接上環(huán)部與下環(huán)部的中間連接部，其中上環(huán)部、下環(huán)部和中間連接部均具有內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁而構(gòu)成一中空結(jié)構(gòu)，該中空結(jié)構(gòu)包括中空部，且上環(huán)部的內(nèi)側(cè)壁上包括多個(gè)定位部件，其中定位部件的個(gè)數(shù)不大于分氣盤上靠近分氣盤的外圍的螺絲孔的個(gè)數(shù)，將安裝件組裝于分氣盤固定盤上，并使安裝件上的每一定位部件的位置與靠近分氣盤固定盤的外圍的其中一螺絲孔的位置對(duì)準(zhǔn)，并使安裝件位于環(huán)形結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)；

S4：將螺絲穿過分氣盤固定盤上的螺絲孔；

S5：提供一分氣盤，分氣盤包括多個(gè)螺絲孔，其中部分螺絲孔靠近分氣盤的外圍，且分氣盤上靠近分氣盤外圍的螺絲孔的位置與分氣盤固定盤上靠近分氣盤固定盤外圍的螺絲孔的位置對(duì)應(yīng)，將安裝件上的每一定位部件的位置與分氣盤上靠近分氣盤外圍的一螺絲孔的位置對(duì)準(zhǔn)，再慢慢推入分氣盤，以使多個(gè)螺絲穿過分氣盤上的螺絲孔，且使分氣盤位于安裝件的中空部?jī)?nèi)；

S6：擰緊所有的螺絲，以將分氣盤固定到分氣盤固定盤上；以及

S7：取下安裝件，完成分氣盤的安裝。

9.權(quán)利要求8所述的刻蝕機(jī)臺(tái)的分氣盤的安裝方法，其特征在于，上環(huán)部的外徑d1為333.4±0.5mm,上環(huán)部的側(cè)壁厚度為2±0.2mm,高度為10±0.5mm；安裝件的下環(huán)部的外徑d2為330±0.1mm,下環(huán)部的側(cè)壁厚度為0.23±0.2mm,高度為5±0.5mm；安裝件的中間連接部的內(nèi)徑為330±0.1mm,外徑為333.4±0.5mm,中間連接層厚度為0.5±0.2mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的刻蝕機(jī)臺(tái)的分氣盤的安裝方法，其特征在于，安裝件的定位部件為位于上環(huán)部的內(nèi)側(cè)壁的凹陷缺口。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的刻蝕機(jī)臺(tái)的分氣盤的安裝方法，其特征在于，安裝件的定位部件為定位標(biāo)識(shí)。