[發明專利]一種旋涂裝置

有效

• 申請號: 201910780809.3
• 申請日: 2019-08-22
• 公開（公告）號: CN110560282B
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 楊進;郜晨希;劉金虎
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: B05B3/10
• 分類號: B05B3/10;B05B13/02
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 房德權

1.一種旋涂裝置，其特征在于，所述旋涂裝置包括：

電機，所述電機具有一豎直方向上設置的轉動軸；

樣片托盤，所述樣片托盤位于所述轉動軸的頂端；

轉盤，所述轉盤設置在所述樣片托盤的下方，且所述轉盤與所述樣片托盤之間具有第一預設距離；

腔室，所述腔室的內部具有一定的容置空間，所述腔室設置在所述轉盤的下方，且所述腔室與所述轉盤之間具有第二預設距離；

彈性件，所述彈性件設置在所述腔室的底端，且所述彈性件套設在所述轉動軸外部；

第一密封件，所述第一密封件設置在所述腔室的頂端，所述轉盤插入所述腔室中，通過所述第一密封件完成所述腔室上部的氣路密封；

第二密封件，所述第二密封件設置在所述腔室的底端與所述彈性件之間。

2.如權利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述第一密封件、第二密封件、腔室、彈性件均通過所述轉動軸與所述電機固定連接。

3.如權利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述第一密封件和所述第二密封件均為黃銅圈。

4.如權利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述腔室的一側壁上垂直向外延伸出一圓筒結構，且所述圓筒結構為L型結構，或，一字型結構。

5.如權利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述樣片托盤的中心位置處開設有一通孔，且所述樣片托盤上以所述通孔為中心開設有多個半環形氣路槽。

6.如權利要求5所述的旋涂裝置，其特征在于，所述樣片托盤上開設有一凹槽，且所述凹槽的寬度范圍為1～2mm，其中，通過所述凹槽以使多個所述半環形氣路槽均與所述通孔相連通。

7.如權利要求5所述的旋涂裝置，其特征在于，所述樣片托盤外側邊部位置處開設有一環形平臺，且所述環形平臺的寬度范圍為2～4mm。

8.如權利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述轉盤上開設有兩個氣路通道，且，所述轉盤上相對開設有兩個平衡孔，其中，兩個所述平衡孔之間的連線與兩個所述氣路通道的中心線相垂直，以使高速旋轉時兩個所述氣路通道的動平衡與受力均勻。

9.如權利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述彈性件為彈簧。