[發明專利]薄膜封裝結構、顯示裝置及薄膜封裝結構的制作方法有效
| 申請號: | 201910769911.3 | 申請日: | 2019-08-20 |
| 公開(公告)號: | CN110459575B | 公開(公告)日: | 2022-05-24 |
| 發明(設計)人: | 劉文祺;羅程遠;孫中元;薛金祥;董超 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京風雅頌專利代理有限公司 11403 | 代理人: | 王剛 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 薄膜 封裝 結構 顯示裝置 制作方法 | ||
本發明公開了一種薄膜封裝結構、顯示裝置及薄膜封裝結構的制作方法;所述薄膜封裝結構包括:基板;封裝膜層,覆蓋于所述基板的表面;所述封裝膜層包括層疊設置的至少兩層絕緣層;以及金屬輔助層,設置于所述基板與所述封裝膜層之間或任意兩層所述絕緣層之間;所述金屬輔助層被構造為網格狀。本發明通過在基板與封裝膜層之間或者是封裝膜層內設置網格狀的金屬輔助層,來緩解和釋放封裝膜層中的絕緣層產生的結構應力,能夠有效的避免絕緣層在形變時易于發生的斷裂現象,顯著的增強基板的結構強度和可彎曲性能,進而提升柔性顯示裝置的良率和使用壽命。
技術領域
本發明涉及顯示技術領域,特別是指一種薄膜封裝結構、顯示裝置及薄膜封裝結構的制作方法。
背景技術
隨著顯示技術的高速發展,柔性顯示裝置具有可卷曲、寬視角和便于攜帶等特點。但是現有技術的柔性顯示裝置中,起到封裝作用的絕緣層通常由氮化硅、氮氧化硅等無機材料構成,這些無機材料韌性差,在產品拉伸或彎曲時易造成絕緣層的斷裂,對柔性顯示裝置的良率及使用壽命造成極大的影響。
發明內容
有鑒于此,本發明的目的在于提出一種薄膜封裝結構、顯示裝置及薄膜封裝結構的制作方法,能夠有效改善絕緣層易斷裂的不足,提升產品的良率和使用壽命。
基于上述目的,本發明提供了一種薄膜封裝結構,包括:
基板;
封裝膜層,覆蓋于所述基板的表面;所述封裝膜層包括層疊設置的至少兩層絕緣層;以及
金屬輔助層,設置于所述基板與所述封裝膜層之間或任意兩層所述絕緣層之間;所述金屬輔助層被構造為網格狀。
在一些可選的實施方式中,所述金屬輔助層包括:多個陣列排布的金屬網格;至少部分所述金屬網格在其遠離所述基板一側的至少一個端點上設置有凸起部。
在一些可選的實施方式中,所述薄膜封裝結構還包括:
平坦輔助層,設置于所述金屬輔助層遠離所述基板一側,被構造為平坦覆蓋所述金屬輔助層遠離所述基板一側的表面。
在一些可選的實施方式中,所述凸起部在層疊方向上的高度不超過20納米。
在一些可選的實施方式中,所述金屬網格的形狀為正方形、矩形或菱形。
在一些可選的實施方式中,所述基板包括:像素界定層;所述金屬輔助層與所述像素界定層在層疊方向上的投影重合。
在一些可選的實施方式中,所述金屬輔助層的材質為鋁、鎂、銀、銅中的一種或多種的組合。
此外,本發明還提供了一種顯示裝置,包括:如上任意一項所述的薄膜封裝結構。
此外,本發明還提供了一種薄膜封裝結構的制作方法,包括:
提供基板;
在所述基板上形成網格狀的金屬輔助層;
在所述金屬輔助層上形成封裝膜層;所述封裝膜層包括層疊設置的至少兩層絕緣層;
或,
提供基板;
在所述基板上形成封裝膜層;所述封裝膜層包括層疊設置的至少兩層絕緣層;其中,在任意兩層所述絕緣層之間形成有網格狀的金屬輔助層。
在一些可選的實施方式中,通過磁控濺射工藝或蒸鍍工藝形成所述金屬輔助層。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





