[發明專利]探針卡

在審

• 申請號: 201910767244.5
• 申請日: 2019-08-20
• 公開（公告）號: CN112415239A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 徐文元;周士瑩;張思穎
• 申請（專利權）人: 漢民測試系統股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01N21/01
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 郭蔚

本發明提供一種探針卡，用以檢測待測晶圓，其包含光輸出元件可連接于定位元件，該光輸出元件設置于具有通孔的電性檢測基板的通孔，且以光纖將光輸出元件與光源控制單元連接，可將輸出光從光源控制單元傳輸至光輸出元件，其中，定位元件可使光輸出元件進行三維空間移動或調整與光輸出元件的中心軸線的夾角角度，因此在硅光晶圓測試時，可同時進行光檢測及電檢測。

【技術領域】

本發明為一種探針卡，特別是關于一種具有電檢測及光檢測的探針卡。

【背景技術】

在已知的硅光晶圓量產測試時，以設有光輸出元件及Z軸位移感測元件的機械臂對待測晶圓進行光檢測，其中，光輸出元件以光纖與光源控制單元連接，由光源控制單元提供輸出光經光纖傳送至光輸出元件，再由光輸出元件輸出該輸出光，使得該最佳檢測位置達到正確光通量。

另外，由探針定位元件調整探針位置進行電性檢測，與前述的光檢測為兩獨立機構，意即在待測晶圓的相同檢測位置上，電檢測及光檢測并非同步進行，一般來說，檢測一片8吋晶圓的測試時間約為24小時，相當耗時，為目前需要改善的問題。

【發明內容】

為解決上述檢測耗時的問題，本發明提供一種探針卡，包含：具有通孔的電性檢測基板，光輸出元件設置于該通孔，且利用光纖將光輸出元件與光源控制單元連接，用以提供輸出光，以及定位元件可使光輸出元件進行三維空間移動或調整與光輸出元件的中心軸線的夾角角度。

其中，定位元件連接光輸出元件與電性檢測基板，因此定位元件與光輸出元件可隨著電性檢測基板同步移動，并以定位元件微幅調整光輸出元件的位置及角度，即可在待測晶圓的相同檢測位置上同時進行光檢測及電檢測，發明提供的探針卡可以解決需進行光感測的待測晶圓的耗時問題，提高檢測效率。

以下借由具體實施例配合所附的圖式詳加說明，當更容易了解本發明的目的、技術內容、特點及其所達成的功效。

【附圖說明】

圖1為本發明一實施例的探針卡側視示意圖。

圖2為本發明一實施例的探針卡俯視示意圖。

圖3為本發明另一實施例的探針卡側視示意圖。

圖4為本發明另一實施例的探針卡俯視示意圖。

圖5為本發明又另一實施例的探針卡側視示意圖。

【符號說明】

11 探針

12 待測晶圓

131 光輸出元件

132 Z軸位移感測元件

133 定位元件

14 光纖

15 光源控制單元

16 電性檢測基板

17 集成控制單元

18 通孔

19 載臺

20 測試單元

【具體實施方式】