[發明專利]探針卡在審
| 申請號： | 201910767244.5 | 申請日： | 2019-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN112415239A | 公開（公告）日： | 2021-02-26 |
| 發明（設計）人： | 徐文元;周士瑩;張思穎 | 申請（專利權）人： | 漢民測試系統股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 中國臺灣新*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 | ||
【權利要求書】：
1.一種探針卡，用以檢測一待測晶圓，其特征在于，該探針卡包含：
一電性檢測基板，具有一通孔；
一光輸出元件設置于該通孔；
一定位元件，用以控制該光輸出元件進行三維空間移動或調整與該光輸出元件的中心軸線的一夾角角度；以及
一光源控制單元，利用一光纖連接該光輸出元件，用以提供一輸出光。
2.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，該定位元件連接該光輸出元件與該電性檢測基板。
3.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，更包含一載臺，用以承接該電性檢測基板。
4.如權利要求3所述的探針卡，其特征在于，該定位元件連接該光輸出元件與該電性檢測基板。
5.如權利要求3所述的探針卡，其特征在于，該定位元件連接該光輸出元件與該載臺。
6.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，更包含一Z軸位移感測元，設置于該通孔，用以感測該光輸出元件與該待測晶圓的距離。
7.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，更包含一集成控制單元，用以調控該定位元件或該光源控制單元。
8.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，更包含一測試單元，電性連接于該電性檢測基板。
9.如權利要求8所述的探針卡，其特征在于，更包含一集成控制單元，用以調控該定位元件、該光源控制單元或該測試單元。
10.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，其更包含一光感測元件，用以接收該輸出光經該待測晶圓的一反射光。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于漢民測試系統股份有限公司，未經漢民測試系統股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910767244.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：目標檢索裝置及方法、電子設備
- 下一篇：有機電致發光材料及其應用
