[發明專利]掩模版組件及其制造裝置、制造方法

有效

• 申請號: 201910765171.6
• 申請日: 2019-08-19
• 公開（公告）號: CN110373630B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 丁文彪;曾佳;杜帥;陳奎;鄭勇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/50
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 李莎

本發明公開了一種掩模版組件制造裝置，包括第一拉伸機構和第二拉伸機構；所述掩模版組件包括至少一個掩模版；其中，所述第一拉伸機構，被配置為夾持所述掩模版沿第一方向的邊緣，并沿所述第二方向拉伸所述掩模版；所述第二拉伸機構，被配置為夾持所述掩模版沿第二方向的邊緣，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；其中，所述第一方向與所述第二方向垂直。本發明還公開了一種掩模版組件制造方法和掩模版組件。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別是指一種掩模版組件及其制造裝置、制造方法。

背景技術

蒸鍍工藝是制作有機發光二極管(英文：Organic Light-Emitting Diode；簡稱：OLED)顯示屏的有機發光層的過程中的重要工藝之一。在此工藝過程中，需要使用具有圖案的掩模版組件，通過真空蒸鍍方式在待蒸鍍基板上形成所需的圖案。掩模版組件包括掩模版框架和掩模版，在上述工藝過程中的張網工序中，將掩模版張緊后固定到掩模版框架上。然而在張網工序中，掩模版被張緊時，存在掩模版沿不同方向拉伸受力不均的情況，這會造成掩模版產生褶皺，嚴重影響蒸鍍工藝的質量。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例的目的之一在于，提出一種掩模版組件及其制造裝置、制造方法，能夠在一定程度上有效避免掩模版的褶皺現象，提升蒸鍍工藝的質量。

基于上述目的，本發明實施例的第一個方面，提供了一種掩模版組件制造裝置，包括第一拉伸機構和第二拉伸機構；所述掩模版組件包括至少一個掩模版；其中，

所述第一拉伸機構，被配置為夾持所述掩模版沿第一方向的邊緣，并沿所述第二方向拉伸所述掩模版；

所述第二拉伸機構，被配置為夾持所述掩模版沿第二方向的邊緣，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；

其中，所述第一方向與所述第二方向垂直。

可選地，所述第一拉伸機構和所述第二拉伸機構中的至少一個，包括：

夾持單元，被配置為夾持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的邊緣；

滑動單元，被配置為帶動所述夾持單元沿所述第二方向或所述第一方向運動，進而使所述夾持單元沿所述第二方向或所述第一方向拉伸所述掩模版。

可選地，所述夾持單元包括活動夾爪、夾爪升降部和夾爪底座；所述活動夾爪在所述夾爪升降部的帶動下能夠相對于所述夾爪底座沿第三方向運動，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向均垂直；所述活動夾爪與所述夾爪底座之間形成容納并夾持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的邊緣的空間。

可選地，所述滑動單元包括第一滑軌、基座和第二滑軌；

所述第一滑軌沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二滑軌沿所述第二方向或所述第一方向延伸，所述第一滑軌與所述第二滑軌的延伸方向相互垂直；

所述第一滑軌與所述基座相固定，所述夾持單元設置于所述第一滑軌；所述基座設置于所述第二滑軌，并能沿所述第二滑軌滑動。

可選地，所述第一滑軌與所述夾持單元之間的摩擦系數與所述第二滑軌與所述基座之間的摩擦系數不同。

可選地，所述第一拉伸機構的數量為多個，且多個所述第一拉伸機構沿所述第一方向等間隔排列；所述第二拉伸機構的數量為多個，且多個所述第二拉伸機構沿所述第二方向等間隔排列。

本發明實施例的第二個方面，提供了一種掩模版組件制造方法，包括：

利用掩模版組件制造裝置的第一拉伸機構夾持所述掩模版組件的掩模版沿第一方向的邊緣，并沿第二方向拉伸所述掩模版；

利用掩模版組件制造裝置的第二拉伸機構夾持所述掩模版組件的掩模版沿所述第二方向的邊緣，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；