[發明專利]掩模版組件及其制造裝置、制造方法

有效

• 申請號: 201910765171.6
• 申請日: 2019-08-19
• 公開（公告）號: CN110373630B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 丁文彪;曾佳;杜帥;陳奎;鄭勇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/50
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 李莎

1.一種掩模版組件制造裝置，其特征在于，包括第一拉伸機構和第二拉伸機構；所述掩模版組件包括至少一個掩模版；其中，

所述第一拉伸機構，被配置為夾持所述掩模版沿第一方向的邊緣，并沿第二方向拉伸所述掩模版；

所述第二拉伸機構，被配置為夾持所述掩模版沿第二方向的邊緣，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；

其中，所述第一方向與所述第二方向垂直；

其中，所述第一拉伸機構和所述第二拉伸機構，均包括：

夾持單元，被配置為夾持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的邊緣；

滑動單元，被配置為帶動所述夾持單元沿所述第二方向或所述第一方向運動，進而使所述夾持單元沿所述第二方向或所述第一方向拉伸所述掩模版；

所述滑動單元包括第一滑軌、基座和第二滑軌；

所述第一滑軌沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二滑軌沿所述第二方向或所述第一方向延伸，所述第一滑軌與所述第二滑軌的延伸方向相互垂直；

所述第一滑軌與所述基座相固定，所述夾持單元設置于所述第一滑軌；所述基座設置于所述第二滑軌，并能沿所述第二滑軌滑動；

其中，所述第一滑軌與所述夾持單元之間的摩擦系數與所述第二滑軌與所述基座之間的摩擦系數不同；

其中，所述第一拉伸機構的數量為多個，且多個所述第一拉伸機構沿所述第一方向等間隔排列；所述第二拉伸機構的數量為多個，且多個所述第二拉伸機構沿所述第二方向等間隔排列。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述夾持單元包括活動夾爪、夾爪升降部和夾爪底座；所述活動夾爪在所述夾爪升降部的帶動下能夠相對于所述夾爪底座沿第三方向運動，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向均垂直；所述活動夾爪與所述夾爪底座之間形成容納并夾持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的邊緣的空間。

3.一種掩模版組件制造方法，其特征在于，包括：

利用掩模版組件制造裝置的第一拉伸機構夾持所述掩模版組件的掩模版沿第一方向的邊緣，并沿第二方向拉伸所述掩模版；

利用掩模版組件制造裝置的第二拉伸機構夾持所述掩模版組件的掩模版沿所述第二方向的邊緣，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；

其中，所述第一方向與所述第二方向垂直；

其中，所述第一拉伸機構和所述第二拉伸機構，均包括：

夾持單元，被配置為夾持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的邊緣；

滑動單元，被配置為帶動所述夾持單元沿所述第二方向或所述第一方向運動，進而使所述夾持單元沿所述第二方向或所述第一方向拉伸所述掩模版；

所述滑動單元包括第一滑軌、基座和第二滑軌；

所述第一滑軌沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二滑軌沿所述第二方向或所述第一方向延伸，所述第一滑軌與所述第二滑軌的延伸方向相互垂直；

所述第一滑軌與所述基座相固定，所述夾持單元設置于所述第一滑軌；所述基座設置于所述第二滑軌，并能沿所述第二滑軌滑動；

其中，所述第一滑軌與所述夾持單元之間的摩擦系數與所述第二滑軌與所述基座之間的摩擦系數不同；

其中，所述第一拉伸機構的數量為多個，且多個所述第一拉伸機構沿所述第一方向等間隔排列；所述第二拉伸機構的數量為多個，且多個所述第二拉伸機構沿所述第二方向等間隔排列。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，還包括：

利用第一遮蔽條和支撐條，在掩模版框架上形成網格支架；

將所述掩模版夾設在相鄰的兩條所述第一遮蔽條之間；

其中，所述第一遮蔽條沿所述第一方向或第二方向平行排列，所述支撐條沿所述第二方向或第一方向平行排列，所述第一遮蔽條的延伸方向與所述支撐條的延伸方向垂直。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，還包括：

在所述掩模版沿所述第一方向和第二方向拉伸并張緊后，將所述掩模版的與所述第一遮蔽條平行且相鄰的邊緣與所述第一遮蔽條固定。