[發明專利]用于在光學計量中提供照明的系統

有效

• 申請號: 201910763022.6
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN110632703B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 格雷戈里·布雷迪;安德烈·V·舒杰葛洛夫;勞倫斯·D·羅特;德里克·薩烏夫尼斯;阿納托利·夏冊梅里尼;里亞·貝澤爾;穆沙米爾·阿藍;阿納托利·瓦西列夫;詹姆斯·艾倫;奧列格·舒列波夫;安德魯·希爾;歐哈德·巴沙爾;摩西·馬科維茨;亞龍·伊什-沙洛姆;利安·瑟拉;阿姆農·瑪納森;亞歷山大·斯維澤爾;馬克西姆·霍赫洛夫;阿維·阿布拉莫夫;奧列格·特斯布列維斯基;丹尼爾·坎德爾;馬克·吉諾烏克
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293;G02B6/35;G01N21/956;G01N21/95;G01N21/47;G01B11/02
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

本發明針對于用于向用于光學計量的測量頭提供照明的系統。在本發明的一些實施例中，來自多個照明源的照明光束經組合以將處于一或多個選定波長的照明遞送到所述測量頭。在本發明的一些實施例中，遞送到所述測量頭的照明的強度及/或空間相干性被控制。在本發明的一些實施例中，處于一或多個選定波長的照明是從經配置用于提供處于連續波長范圍的照明的寬帶照明源遞送的。

本申請是發明名稱為“用于在光學計量中提供照明的系統”，申請號為201480017857.2，申請日為2014年2月21日的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明一般來說涉及光學計量領域，且更特定來說涉及針對光學計量提供照明的系統。

背景技術

基于散射計量技術的光學計量系統通常用于表征半導體中的關鍵裝置層。光學計量系統的實例包含但不限于一維光束輪廓反射計量(1D-BPR)系統、二維光束輪廓反射計量(2D-BPR)系統、光譜反射計量系統及光譜橢圓偏振計量系統。前述光學計量系統及為此項技術所習知的其它系統照明樣本以執行測量。當前采用各種照明系統來向光學計量系統的測量頭提供照明。

數個當前所采用照明系統遭受結構或性能缺點。一些當前系統不緊密且需要大數目個光學表面來導引或管理遞送到測量頭的照明。一些當前系統限于一或多個特定激光波長或不能夠向測量頭提供處于特定波長范圍中的照明。一些當前系統極易受噪聲影響，使得驅動光電調制器(例如，普克爾盒(Pockels cell))的電壓中的甚至較小量的噪聲可導致影響遞送到測量頭的照明的強度的不可接受量的噪聲。一些當前系統缺少從自由空間耦合到光纖的穩定性，因此導致影響遞送到測量頭的照明的強度的大量噪聲。一些當前系統易受由激光點源及/或單模光纖產生的高度空間相干性的激光斑點影響。前述實例圖解說明當前為此項技術所習知的照明系統中的一些系統的缺點。

發明內容

本發明針對于用于向光學計量系統的至少一個測量頭提供照明的系統。

本發明的實施例包含一種用于向測量頭提供照明的系統。所述系統可包含多個照明源，所述多個照明源包含但不限于第一照明源、第二照明源、第三照明源、第四照明源、第五照明源及第六照明源。第一折疊鏡可經配置以沿著導引路徑反射來自所述第一照明源的照明。第二折疊鏡可經配置以沿著導引路徑反射來自第二照明源的照明。第一二向色組合器可經配置以沿著所述導引路徑透射來自所述第一照明源的照明。所述第一二向色組合器可進一步經配置以沿著所述導引路徑反射來自所述第三照明源的照明。第二二向色組合器可經配置以沿著所述導引路徑透射來自所述第二照明源的照明。所述第二二向色組合器可進一步經配置以沿著所述導引路徑反射來著所述第四照明源的照明。第三二向色組合器可經配置以沿著所述導引路徑透射來自所述第一照明源的照明及來自所述第三照明源的照明。所述第三二向色組合器可進一步經配置以沿著所述導引路徑反射來自所述第五照明源的照明。第四二向色組合器可經配置以沿著所述導引路徑透射來自所述第六照明源的照明。第四二向色組合器可進一步經配置以沿著所述導引路徑反射來自所述第二照明源的照明及來自所述第四照明源的照明。第五二向色組合器可經配置以沿著照明路徑將來自所述第二照明源的照明、來自所述第四照明源的照明及來自所述第六照明源的照明透射到所述測量頭。所述第五二向色組合器可進一步經配置以沿著所述照明路徑將來自所述第一照明源的照明、來自所述第三照明源的照明及來自所述第五照明源的照明反射到所述測量頭。