[發明專利]用于在光學計量中提供照明的系統

有效

• 申請號: 201910763022.6
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN110632703B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 格雷戈里·布雷迪;安德烈·V·舒杰葛洛夫;勞倫斯·D·羅特;德里克·薩烏夫尼斯;阿納托利·夏冊梅里尼;里亞·貝澤爾;穆沙米爾·阿藍;阿納托利·瓦西列夫;詹姆斯·艾倫;奧列格·舒列波夫;安德魯·希爾;歐哈德·巴沙爾;摩西·馬科維茨;亞龍·伊什-沙洛姆;利安·瑟拉;阿姆農·瑪納森;亞歷山大·斯維澤爾;馬克西姆·霍赫洛夫;阿維·阿布拉莫夫;奧列格·特斯布列維斯基;丹尼爾·坎德爾;馬克·吉諾烏克
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293;G02B6/35;G01N21/956;G01N21/95;G01N21/47;G01B11/02
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種用于向測量頭提供照明的系統，其包括：

寬帶照明源；

一個或多個可平移的多模光纖，其經配置以沿著照明路徑將來自所述寬帶照明源的照明遞送到測量頭；及

濾波器機構，所述濾波器機構經配置以允許沿著所述照明路徑遞送處于選定波長的照明，其中所述濾波器機構包含固定散射元件，所述固定散射元件經配置以通過控制照明光譜的色散來控制耦合到所述一個或多個可平移的多模光纖中的所述照明的帶寬，所述固定散射元件設置于所述寬帶照明源和一個或多個可平移的多模光纖之間，所述一個或多個可平移的多模光纖可致動以選擇性地將一個或多個選定波長的照明耦合到選定多模光纖中。

2.根據權利要求1所述的系統，其中所述濾波器機構包含多個窄帶電介質薄膜濾波器。

3.根據權利要求1所述的系統，其中所述濾波器機構包含可調諧電介質濾波器。

4.根據權利要求1所述的系統，其中所述濾波器機構進一步經配置以允許沿著所述照明路徑遞送未經濾波的照明。

5.根據權利要求1所述的系統，其中所述濾波器機構包含具有旋轉散射元件的單色儀。

6.根據權利要求1所述的系統，其中所述濾波器機構包含經配置以沿著多個光纖引導處于選定波長的照明的部分的散射元件。

7.根據權利要求1所述的系統，其中所述一個或多個多模光纖基于所述寬帶照明源及所述測量頭中的至少一者的光展量具有選定數值孔徑及選定芯大小。

8.根據權利要求1所述的系統，其中所述寬帶照明源包括激光持續等離子源。

9.根據權利要求8所述的系統，其中所述激光持續等離子源經配置以沿著所述激光持續等離子源的等離子發射軸提供照明。

10.根據權利要求8所述的系統，其中所述激光持續等離子源包含：

抽運源，其經配置以提供處于至少一個選定波長及至少一個選定功率電平的照明；及

氣室，其含有經加壓氣體，所述氣室經配置以接收來自所述抽運源的照明以產生等離子，其中所述氣室提供從所產生的等離子發射的寬帶照明。

11.根據權利要求10所述的系統，其中所述激光持續等離子源進一步包含：

橢球面鏡，其經配置以聚焦遞送到所述氣室的照明，所述橢球面鏡進一步經配置以收集并準直從所述所產生等離子發射的寬帶照明。

12.根據權利要求10所述的系統，其中所述激光持續等離子源進一步包含：

準直透鏡，其經配置以準直遞送到所述氣室的照明；及

拋物面鏡，其經配置以聚焦遞送到所述氣室的照明，所述拋物面鏡進一步經配置以收集并準直從所述所產生等離子發射的寬帶照明。

13.根據權利要求10所述的系統，其中所述激光持續等離子源進一步包含：

冷光鏡，其經配置以將來自所述抽運源的照明與從所述所產生等離子發射的寬帶照明分離，所述冷光鏡進一步經配置以沿著發射路徑引導從所述所產生等離子發射的寬帶照明。

14.根據權利要求1所述的系統，其中所述濾波器機構包含：

多個二向色分束器，每一二向色分束器經配置以沿著相應遞送路徑引導相應波長范圍；及

多個快門，每一快門經配置以接收來自所述多個二向色分束器中的相應者的所述相應遞送路徑的照明，所述多個快門經配置以允許沿著所述照明路徑遞送處于選定波長的照明。

15.根據權利要求1所述的系統，其中所述固定散射元件包括棱鏡或衍射光柵中的至少一者。