[發(fā)明專利]一種曝光機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910762211.1
• 申請(qǐng)日: 2019-08-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110609451A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇順森
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 44300 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 黃威

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N曝光機(jī)，該曝光機(jī)包括機(jī)架、檢測(cè)器及防護(hù)件，機(jī)架用于裝入掩模板，檢測(cè)器安裝于機(jī)架上并用于檢測(cè)掩模板是否裝入機(jī)架，防護(hù)件用于在掩模板的裝入方向上隔擋檢測(cè)器，以防止檢測(cè)器在掩模板的裝入過(guò)程中被碰撞，進(jìn)而導(dǎo)致檢測(cè)器被損壞的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種曝光機(jī)。

背景技術(shù)

近年來(lái)，中小尺寸液晶顯示器發(fā)展迅猛，制備過(guò)程中需要使用到精密光學(xué)儀器曝光機(jī)，曝光機(jī)工藝中需要使用到掩模板。

目前，掩模板通過(guò)搬運(yùn)小車(chē)裝入到曝光機(jī)中，并通過(guò)安裝在曝光機(jī)上的傳感器檢測(cè)進(jìn)行檢測(cè)，在掩模板裝入過(guò)程中，會(huì)出現(xiàn)搬運(yùn)小車(chē)與傳感器發(fā)生碰撞而導(dǎo)致傳感器受損的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)主要是提供一種曝光機(jī)，能夠防止檢測(cè)器在掩模板的裝入過(guò)程中被碰撞，進(jìn)而被損壞的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種曝光機(jī)，所述曝光機(jī)包括機(jī)架、檢測(cè)器及防護(hù)件，所述機(jī)架用于裝入掩模板，所述檢測(cè)器安裝于所述機(jī)架上并用于檢測(cè)所述掩模板是否裝入所述機(jī)架，所述防護(hù)件用于在所述掩模板的裝入方向上隔擋所述檢測(cè)器，以防止所述檢測(cè)器在所述掩模板的裝入過(guò)程中被碰撞。

其中，所述防護(hù)件包括周側(cè)壁，所述周側(cè)壁圍設(shè)于所述檢測(cè)器。

其中，所述防護(hù)件還包括頂壁，所述頂壁設(shè)有通光孔且與所述周側(cè)壁連接，以使得所述防護(hù)件罩設(shè)于所述檢測(cè)器。

其中，所述檢測(cè)器包括發(fā)射器及接收器，所述發(fā)射器及所述接收器在豎直方向上間隔設(shè)置，以在所述掩模板裝入所述機(jī)架后位于所述發(fā)射器及所述接收器之間。

其中，所述曝光機(jī)還包括支架，所述支架與所述機(jī)架連接，所述檢測(cè)器安裝于所述支架上。

其中，所述機(jī)架包括機(jī)架本體及機(jī)架門(mén)，所述機(jī)架本體用于裝入掩模板，所述機(jī)架門(mén)與所述機(jī)架活動(dòng)連接，以打開(kāi)或關(guān)閉所述機(jī)架本體。

其中，所述曝光機(jī)還包括警示器，所述警示器安裝于所述機(jī)架上，用于發(fā)出警報(bào)。

其中，所述機(jī)架設(shè)有第一定位部，所述掩模板設(shè)有第二定位部，以在所述掩模板裝入所述機(jī)架后，所述第一定位部與所述第二定位部呈配合設(shè)置。

其中，所述第一定位部為定位槽，所述第二定位部為與所述定位槽配合的定位凸起。

其中，所述機(jī)架上設(shè)有提示標(biāo)，所述提示標(biāo)的設(shè)置高度與所述檢測(cè)器的安裝高度相同。

本申請(qǐng)的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本申請(qǐng)?zhí)峁┑钠毓鈾C(jī)包括機(jī)架、檢測(cè)器及防護(hù)件，機(jī)架用于裝入掩模板，檢測(cè)器安裝于機(jī)架上并用于檢測(cè)掩模板是否裝入機(jī)架，防護(hù)件用于在掩模板的裝入方向上隔擋檢測(cè)器，以防止檢測(cè)器在掩模板的裝入過(guò)程中被碰撞，進(jìn)而導(dǎo)致檢測(cè)器被損壞的風(fēng)險(xiǎn)。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中：

圖1是本申請(qǐng)?zhí)峁┑钠毓鈾C(jī)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本申請(qǐng)實(shí)施例中的附圖，對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本申請(qǐng)的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本申請(qǐng)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本申請(qǐng)保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1，圖1是本申請(qǐng)?zhí)峁┑钠毓鈾C(jī)10實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)施例中的曝光機(jī)10包括機(jī)架11、檢測(cè)器12及防護(hù)件13。