[發明專利]一種曝光機在審
| 申請號： | 201910762211.1 | 申請日： | 2019-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN110609451A | 公開（公告）日： | 2019-12-24 |
| 發明（設計）人： | 蘇順森 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 430079 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測器 掩模板 裝入 防護件 曝光機 隔擋 檢測 申請 | ||
1.一種曝光機，其特征在于，所述曝光機包括機架、檢測器及防護件，所述機架用于裝入掩模板，所述檢測器安裝于所述機架上并用于檢測所述掩模板是否裝入所述機架，所述防護件用于在所述掩模板的裝入方向上隔擋所述檢測器，以防止所述檢測器在所述掩模板的裝入過程中被碰撞。
2.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述防護件包括周側壁，所述周側壁圍設于所述檢測器。
3.根據權利要求2所述的曝光機，其特征在于，所述防護件還包括頂壁，所述頂壁設有通光孔且與所述周側壁連接，以使得所述防護件罩設于所述檢測器。
4.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述檢測器包括發射器及接收器，所述發射器及所述接收器在豎直方向上間隔設置，以在所述掩模板裝入所述機架后位于所述發射器及所述接收器之間。
5.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述曝光機還包括支架，所述支架與所述機架連接，所述檢測器安裝于所述支架上。
6.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述機架包括機架本體及機架門，所述機架本體用于裝入掩模板，所述機架門與所述機架活動連接，以打開或關閉所述機架本體。
7.根據權利要求6所述的曝光機，其特征在于，所述曝光機還包括警示器，所述警示器安裝于所述機架上，用于發出警報。
8.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述機架設有第一定位部，所述掩模板設有第二定位部，以在所述掩模板裝入所述機架后，所述第一定位部與所述第二定位部呈配合設置。
9.根據權利要求7所述的曝光機，其特征在于，所述第一定位部為定位槽，所述第二定位部為與所述定位槽配合的定位凸起。
10.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述機架上設有提示標，所述提示標的設置高度與所述檢測器的安裝高度相同。
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