[發(fā)明專利]產(chǎn)生極紫外光輻射的裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910760768.1
• 申請(qǐng)日: 2019-08-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110837209A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝劼;陳冠宏;許峻嘉;簡(jiǎn)上傑;劉柏村;陳立銳;鄭博中
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó)

1.一種產(chǎn)生極紫外光輻射的裝置，其特征在于，該裝置包含：

一液滴產(chǎn)生器，配置以產(chǎn)生多個(gè)目標(biāo)液滴；

一激發(fā)激光，配置以使用多個(gè)激發(fā)脈沖來(lái)加熱所述多個(gè)目標(biāo)液滴，以轉(zhuǎn)換所述多個(gè)目標(biāo)液滴為一電漿；

一能量偵測(cè)器，配置以量測(cè)于一極紫外光能量中的一變化，其中該極紫外光能量是于所述多個(gè)目標(biāo)液滴轉(zhuǎn)換為該電漿時(shí)所產(chǎn)生；以及

一反饋控制器，配置以基于該極紫外光能量中的該變化，來(lái)調(diào)整該液滴產(chǎn)生器或該激發(fā)激光的至少一者的一參數(shù)。