[發(fā)明專利]IC芯片外觀檢驗?zāi)K

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910752693.2
• 申請日: 2019-08-15
• 公開（公告）號: CN112394030A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 詹勛亮;梁居平;王柏諺;李柏勛;陳家威
• 申請（專利權(quán)）人: 京元電子股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/892
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳夢圓

1.一種IC芯片外觀檢驗?zāi)K，用以外觀檢驗一IC芯片，包括：

一機臺，具有一輸送單元；

兩個光學式IC檢驗座，呈相對應(yīng)設(shè)置于該機臺上；

一成像模塊，設(shè)置于該機臺上；以及

一驅(qū)動裝置，連接該兩個光學式IC檢驗座，從而依據(jù)該IC芯片的尺寸而調(diào)整該兩個光學式IC檢驗座的間距。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該每一光學式IC檢驗座具有一反光鏡，用以反射該IC芯片的影像。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該驅(qū)動裝置為一馬達及一皮帶，用以帶動該兩個光學式IC檢驗座。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該輸送單元為一輸送帶或一輸送軌道。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該機臺上設(shè)有一與該輸送單元連結(jié)的吸嘴轉(zhuǎn)向機構(gòu)，該吸嘴轉(zhuǎn)向機構(gòu)包括一馬達、一齒條及至少一吸嘴，該每一吸嘴上具有一吸嘴頭及一與該齒條相互嚙合的齒輪，該馬達可帶動該齒條直線滑移，進而帶動該每一吸嘴可水平旋轉(zhuǎn)一特定角度；其中，該輸送單元移送該每一吸嘴頭于該兩個光學式IC芯片載臺之間，該模塊先檢查該每一吸嘴頭上所吸取的該IC芯片的相對應(yīng)兩面的影像，之后再通過該吸嘴轉(zhuǎn)向機構(gòu)水平旋轉(zhuǎn)90°以檢視該IC芯片的另外相對應(yīng)兩面的影像。

6.IC芯片外觀檢驗?zāi)K，用以外觀檢驗一IC芯片，包括：

一機臺，具有一輸送單元；

兩個光學式IC檢驗座，呈相對應(yīng)設(shè)置于該機臺上，該每一光學式IC檢驗座呈L型；

一成像模塊，設(shè)置于該機臺上；以及

一驅(qū)動裝置，連接該兩個光學式IC檢驗座，從而依據(jù)該IC芯片的尺寸而調(diào)整該兩個光學式IC檢驗座的間距。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該每一光學式IC檢驗座具有一反光鏡，用以反射該IC芯片的影像。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該驅(qū)動裝置為一馬達，用以帶動該兩個光學式IC檢驗座。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該兩個光學式IC檢驗座設(shè)置于一基座上，該每一光學式IC檢驗座與該基座分別設(shè)有相互對應(yīng)的一滑槽與一滑軌，且該每一光學式IC檢驗座連接一齒條，該馬達連接并驅(qū)動該齒條及該每一光學式IC檢驗座，使該每一光學式IC檢驗座于該基座，經(jīng)該滑槽與該滑軌，調(diào)整該兩個光學式IC檢驗座相鄰的間距。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該基座設(shè)有一開口，該成像模塊容設(shè)于該開口下方。

11.IC芯片外觀檢驗?zāi)K，用以外觀檢驗一IC芯片，包括：

一機臺，具有一輸送單元；

兩個光學式IC檢驗座，呈相對應(yīng)分別設(shè)置于兩個基座上，該兩個基座設(shè)置于該機臺上，該每一光學式IC檢驗座呈L型；

一成像模塊，設(shè)置于該機臺上；以及

一驅(qū)動裝置，連接該兩個基座，從而依據(jù)該IC芯片的尺寸而調(diào)整該兩個光學式IC檢驗座的間距。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該每一光學式IC檢驗座具有一反光鏡，用以反射該IC芯片的影像。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該驅(qū)動裝置為一馬達，用以帶動該兩個基座。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的IC芯片外觀檢驗?zāi)K，其中，該成像模塊容設(shè)于該兩個基座下方。