[發(fā)明專利]一種防止手臂撞擊晶圓的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910751520.9
• 申請日: 2019-08-15
• 公開（公告）號: CN110444493B
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 喻澤鋒;陳伯廷;吳宗祐;林宗賢
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海智晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 張東梅

1.一種防止手臂撞擊晶圓的裝置，包括：

手臂基座；

偵測器位置調(diào)整單元，所述偵測器位置調(diào)整單元剛性設(shè)置在所述手臂基座上；

偵測器寬度調(diào)整單元，所述偵測器寬度調(diào)整單元與所述偵測器位置調(diào)整單元的可動結(jié)構(gòu)剛性相連；以及

晶圓偵測器，所述晶圓偵測器可調(diào)節(jié)的設(shè)置在所述偵測器寬度調(diào)整單元上；

控制模塊，包括：信號接收單元；主控制器，所述主控制器接收來自信號接收單元的指令，并向機械控制器和PLC單元下發(fā)控制指令；機械控制器，所述機械控制器基于來自所述主控制器的控制指令控制馬達動作；PLC單元；及電磁閥，所述電磁閥用于控制所述偵測器位置調(diào)整單元動作，所述PLC單元基于來自所述主控制器的控制指令控制所述電磁閥開啟或關(guān)閉，

其中所述防止手臂撞擊晶圓的裝置進行預(yù)偵測時，所述主控制器接收來自所述信號接收單元的指令，并向所述PLC單元提供控制指令，所述PLC單元基于所述主控制器的控制指令開啟或關(guān)閉所述電磁閥，實現(xiàn)所述晶圓偵測器處于遠(yuǎn)離待測晶圓的第一位置；同時所述主控制器向所述機械控制器提供控制指令，所述機械控制器控制所述偵測器寬度調(diào)整單元動作，使所述晶圓偵測器處于間距較大的狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的防止手臂撞擊晶圓的裝置，其特征在于，所述偵測器位置調(diào)整單元為氣缸。

3.如權(quán)利要求2所述的防止手臂撞擊晶圓的裝置，其特征在于，所述氣缸的數(shù)量為2個。

4.如權(quán)利要求1所述的防止手臂撞擊晶圓的裝置，其特征在于，所述偵測器寬度調(diào)整單元進一步包括：

基座；

設(shè)置在所述基座上或內(nèi)的馬達；

可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述基座上的軸承；以及

連接馬達齒輪和軸承齒輪的傳送帶。

5.如權(quán)利要求4所述的防止手臂撞擊晶圓的裝置，其特征在于，所述晶圓偵測器具有兩個，且可移動的設(shè)置在所述軸承的兩側(cè)。

6.如權(quán)利要求1所述的防止手臂撞擊晶圓的裝置，其特征在于，所述PLC單元還接收來自主控制器的指令，控制所述晶圓偵測器進行偵測。

7.如權(quán)利要求1所述的防止手臂撞擊晶圓的裝置，其特征在于，所述防止手臂撞擊晶圓的裝置進行正常偵測時，所述主控制器接收來自所述信號接收單元的指令，并向所述PLC單元提供控制指令，所述PLC單元基于所述主控制器的控制指令開啟或關(guān)閉所述電磁閥，實現(xiàn)所述晶圓偵測器處于接近待測晶圓的第二位置；同時所述主控制器向所述機械控制器提供控制指令，所述機械控制器控制所述偵測器寬度調(diào)整單元動作，使所述晶圓偵測器處于間距較小的狀態(tài)。