[發(fā)明專利]一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910743327.0
• 申請日: 2019-08-13
• 公開（公告）號: CN110426135B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市科敏傳感器有限公司
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02
• 代理公司: 北京成實知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11724
• 代理人: 陳永虔

本發(fā)明涉及一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,包括襯底層,所述襯底層的上方設(shè)置有外爾半金屬層，所述外爾半金屬層的上方設(shè)置有第一電極、第二電極，所述第一電極與第二電極相互間隔；該基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器，通過檢測外爾半金屬與化合物電極之間的光生電流的強度變化，實現(xiàn)溫度的檢測；相比于現(xiàn)有的溫度傳感器不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且靈敏度更高，具有更高的測量精度和穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及溫度探測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器。

背景技術(shù)

傳感器（英文名稱：transducer/sensor）是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。

傳感器的特點包括：微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化。它是實現(xiàn)自動檢測和自動控制的首要環(huán)節(jié)。傳感器的存在和發(fā)展，讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官，讓物體慢慢變得活了起來。通常根據(jù)其基本感知功能分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大類。

現(xiàn)有溫度傳感器按電子元件特性分為熱電阻和熱電偶兩類。容易受到電子元件特性的影響，頻繁的使用會因為電子元件的損耗，而影響測量溫度的傳感器精度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,包括襯底層,所述襯底層的上方設(shè)置有外爾半金屬層，所述外爾半金屬層的上方設(shè)置有第一電極、第二電極，所述第一電極與第二電極相互間隔。

所述第一電極為金屬制成。

所述第二電極為二氧化釩制成。

所述外爾半金屬層厚度為20nm～80nm。

所述第二電極與外爾半金屬層之間還設(shè)置有石墨烯層。

所述襯底層的上表面為斜面，所述外爾半金屬層置于該斜面上。

所述第二電極為網(wǎng)格狀。

所述第二電極的上表面為一斜面。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明提供的這種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器，通過檢測外爾半金屬與化合物電極之間的光生電流的強度變化，實現(xiàn)溫度的檢測；相比于現(xiàn)有的溫度傳感器不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且靈敏度更高，具有更高的測量精度和穩(wěn)定性。

以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。

附圖說明

圖1是基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖一。

圖2是基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖二。

圖3是基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖三。

圖4是第二電極的網(wǎng)格結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、襯底層；2、外爾半金屬層；3、第一電極；4、第二電極； 5、石墨烯層。

具體實施方式

為進(jìn)一步闡述本發(fā)明達(dá)成預(yù)定目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明的具體實施方式、結(jié)構(gòu)特征及其功效，詳細(xì)說明如下。

實施例1