[發明專利]一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器有效
| 申請號: | 201910743327.0 | 申請日: | 2019-08-13 |
| 公開(公告)號: | CN110426135B | 公開(公告)日: | 2021-01-15 |
| 發明(設計)人: | 不公告發明人 | 申請(專利權)人: | 深圳市科敏傳感器有限公司 |
| 主分類號: | G01K7/02 | 分類號: | G01K7/02 |
| 代理公司: | 北京成實知識產權代理有限公司 11724 | 代理人: | 陳永虔 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市寶安區福永街道*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 外爾半 金屬 探測 溫度傳感器 | ||
1.一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:包括襯底層(1),所述襯底層(1)的上方設置有外爾半金屬層(2),所述外爾半金屬層(2)的上方設置有第一電極(3)、第二電極(4),所述第一電極(3)與第二電極(4)相互間隔;
其中,所述第一電極(3)為金屬制成,所述第二電極(4)為二氧化釩制成,所述外爾半金屬層(2)是由二碲化鉬制成;以使得入射光入射到第二電極(4)時,第二電極(4)和外爾半金屬層(2)之間產生光生電流。
2.如權利要求1所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述外爾半金屬層(2)厚度為20nm~80nm。
3.如權利要求1所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述第二電極(4)與外爾半金屬層(2)之間還設置有石墨烯層(5)。
4.如權利要求1所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述襯底層(1)的上表面為斜面,所述外爾半金屬層(2)置于該斜面上。
5.如權利要求1所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述第二電極(4)為網格狀。
6.如權利要求5所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述第二電極(4)的上表面為一斜面。
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