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[發明專利]一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器有效

專利信息
申請號: 201910743327.0 申請日: 2019-08-13
公開(公告)號: CN110426135B 公開(公告)日: 2021-01-15
發明(設計)人: 不公告發明人 申請(專利權)人: 深圳市科敏傳感器有限公司
主分類號: G01K7/02 分類號: G01K7/02
代理公司: 北京成實知識產權代理有限公司 11724 代理人: 陳永虔
地址: 518000 廣東省深圳市寶安區福永街道*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 外爾半 金屬 探測 溫度傳感器
【權利要求書】:

1.一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:包括襯底層(1),所述襯底層(1)的上方設置有外爾半金屬層(2),所述外爾半金屬層(2)的上方設置有第一電極(3)、第二電極(4),所述第一電極(3)與第二電極(4)相互間隔;

其中,所述第一電極(3)為金屬制成,所述第二電極(4)為二氧化釩制成,所述外爾半金屬層(2)是由二碲化鉬制成;以使得入射光入射到第二電極(4)時,第二電極(4)和外爾半金屬層(2)之間產生光生電流。

2.如權利要求1所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述外爾半金屬層(2)厚度為20nm~80nm。

3.如權利要求1所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述第二電極(4)與外爾半金屬層(2)之間還設置有石墨烯層(5)。

4.如權利要求1所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述襯底層(1)的上表面為斜面,所述外爾半金屬層(2)置于該斜面上。

5.如權利要求1所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述第二電極(4)為網格狀。

6.如權利要求5所述的一種基于外爾半金屬光探測的溫度傳感器,其特征在于:所述第二電極(4)的上表面為一斜面。

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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