[發明專利]一種潔凈室

在審

• 申請號: 201910736090.3
• 申請日: 2019-08-09
• 公開（公告）號: CN110439332A
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 李傳琰;李鵬;王江標;張欣賞;盛受文;肖紅梅
• 申請（專利權）人: 世源科技工程有限公司;中國電子工程設計院有限公司
• 主分類號: E04H5/02
• 分類號: E04H5/02;E04H1/12;F24F7/08;F24F3/16;F24F13/02;F24F11/89
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 劉紅彬

1.一種潔凈室，包括上技術夾層、下技術夾層以及位于所述上技術夾層和下技術夾層之間的潔凈生產區；所述潔凈生產區的兩側形成用于連通所述上技術夾層和下技術夾層的技術夾道；其特征在于，還包括調壓設備組件，所述上技術夾層、下技術夾層以及潔凈生產區內均設有隔板墻，所述潔凈生產區內的隔板墻用于將所述潔凈生產區分隔為帶污染源生產區和無污染源生產區，所述上技術夾層內的隔板墻用于將所述上技術夾層分隔為帶污染源上技術夾層和無污染源上技術夾層，所述下技術夾層內的隔板墻用于將所述下技術夾層分隔為帶污染源下技術夾層和無污染源下技術夾層：其中，

所述上技術夾層內設有的隔板墻為雙層以形成上技術夾層雙墻夾道，所述調壓設備組件用于調節所述上技術夾層雙墻夾道內氣壓，以使潔凈室正常生產時使所述上技術夾層雙墻夾道內的氣壓高于與其相鄰的帶污染源上技術夾層和無污染源上技術夾層內的氣壓；

和/或；

所述下技術夾層內設有的隔板墻為雙層以形成下技術夾層雙墻夾道，所述調壓設備組件用于調節所述下技術夾層雙墻夾道內氣壓，以使潔凈室正常生產時使所述下技術夾層雙墻夾道內的氣壓高于與其相鄰的帶污染源下技術夾層和無污染源下技術夾層內的氣壓，或者，使潔凈室正常生產時使所述下技術夾層雙墻夾道內的氣壓低于與其相鄰的帶污染源下技術夾層和無污染源下技術夾層內的氣壓。

2.根據權利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈生產區內設有的隔板墻為雙層以形成潔凈生產區雙墻夾道，所述調壓設備組件還用于調節所述生產區雙墻夾道內的氣壓，以使所述潔凈生產區雙墻夾道內的氣壓高于所述帶污染源生產區和無污染源生產區內的氣壓。

3.根據權利要求2所述的潔凈室，其特征在于，當所述下技術夾層內設有的隔板墻為雙層以形成下技術夾層雙墻夾道時，所述潔凈生產區雙墻夾道與所述下技術夾層雙墻夾道連通、且與所述上技術夾層雙墻夾道隔離，所述調壓設備組件包括用于同時調節所述潔凈生產區雙墻夾道和下技術夾層雙墻夾道內氣壓的第一調壓設備和用于調節上技術夾層雙墻夾道內氣壓的第二調壓設備。

4.根據權利要求3所述的潔凈室，其特征在于，所述第一調壓設備包括用于與新風機組配合以用于向所述下技術夾層雙墻夾道以及潔凈生產區雙墻夾道內供入潔凈新風的第一供風設備；

所述第二調壓設備包括用于與新風機組配合以用于向所述上技術夾層雙墻夾道內供入潔凈新風的第二供風設備。

5.根據權利要求4所述的潔凈室，其特征在于，所述下技術夾層雙墻夾道或所述潔凈生產區雙墻夾道內設有第一壓差傳感器，所述第一供風設備的出風管上設有用于根據所述第一壓差傳感器檢測的差值調節開度的第一調節閥；

所述上技術夾層雙墻夾道內設有第二壓差傳感器，所述第二供風設備的出風管上設有用于根據所述第二壓差傳感器檢測的差值調節開度的第二調節閥。

6.根據權利要求2所述的潔凈室，其特征在于，當所述下技術夾層內設有的隔板墻為雙層以形成下技術夾層雙墻夾道時，所述潔凈生產區雙墻夾道與所述下技術夾層雙墻夾道及所述上技術夾層雙墻夾道隔離，所述調壓設備組件包括調節所述上技術夾層雙墻夾道內氣壓的第一調壓設備、調節所述潔凈生產區雙墻夾道內氣壓的第二調壓設備和用于調節下技術夾層雙墻夾道內氣壓的第三調壓設備。

7.根據權利要求6所述的潔凈室，其特征在于，所述第一調壓設備包括用于與新風機組配合以用于向所述上技術夾層雙墻夾道內供入潔凈新風的第一供風設備；

所述第二調壓設備包括用于與新風機組配合以用于向所述潔凈生產區雙墻夾道內供入潔凈新風的第二供風設備；

所述第三調壓設備包括用于將所述下技術夾層雙墻夾道內氣體排出的第一排風設備。

8.根據權利要求2所述的潔凈室，其特征在于，還包括污染源收集集風箱和與污染源收集集風箱連通的沸石轉輪機組；

所述污染源收集集風箱用于將所述帶污染源生產區產生的污染源收集，并使收集的污染源進入到所述沸石轉輪機組內。

9.根據權利要求2所述的潔凈室，其特征在于，所述上技術夾層雙墻夾道、所述下技術夾層雙墻夾道和所述潔凈生產區雙墻夾道的寬度大于或等于600mm。