[發明專利]一種旋轉靶材的垂直綁定裝置以及綁定方法

有效

• 申請號: 201910732403.8
• 申請日: 2019-08-13
• 公開（公告）號: CN110408897B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 高明;張花蕊;張虎;陳浩杰
• 申請（專利權）人: 北京航大微納科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種旋轉靶材的垂直綁定裝置以及綁定方法，包括襯管(1)、分段套設在襯管(1)上的至少兩個靶管(2)、所述襯管(1)內設有內加熱裝置(3)，所述靶管(2)外設有外加熱裝置(4)；其特征在于：所述內加熱裝置(3)沿所述襯管(1)的延伸方向分為獨立控制的多個加熱段(31)，所述加熱段(31)與所述靶管(2)一一對應設置；所述外加熱裝置(4)與所述靶管(2)一一對應設置，每個所述外加熱裝置(4)均為獨立控制。本發明的綁定裝置以及綁定方法能夠防止焊料在綁定過程中沖破密封裝置。

技術領域

本發明涉及靶材綁定領域，尤其涉及一種旋轉靶材的垂直綁定裝置以及綁定方法。

背景技術

磁控濺射鍍膜是目前鍍膜行業應用廣泛的鍍膜沉積工藝。濺射鍍膜的原理是在真空條件下，通過電子槍氬離子對靶材表面進行轟擊，靶材表面材料以分子、原子、離子或電子等形式被濺射出來，飛濺到基板上沉積成膜。

濺射靶材通常有兩類：平面靶材和旋轉靶材，其中平面靶材的利用率只有20-30％，為了提高靶材的利用率，旋轉靶材被越來越多地應用于實際制造中。并且隨著科技的進步，越來越需要大尺寸的旋轉靶材。

對于陶瓷靶管和某些金屬靶管，由于其脆性大，很難用澆注法和噴涂方法生產，只能用冷等靜壓加燒結或熱等靜壓方法生產出一節節靶管，然后通過綁定到襯管上形成大尺寸靶材。目前常用的綁定方式可參考公開號為CN206366646U的中國實用新型專利《一種陶瓷旋轉靶材邦定的金屬密封系統》，該種旋轉靶材包括金屬背管和套置在金屬背管外部的第一陶瓷旋轉靶材，其中，金屬背管和第一陶瓷旋轉靶材在底部由一堵頭密封形成空腔；金屬背管的管內設置有內加熱器，并且，第一陶瓷旋轉靶材的外部設置有外加熱器；金屬背管和第一陶瓷旋轉靶材之間的空腔內澆鑄有低熔點金屬綁定層，現有技術中的低熔點金屬焊料常用銦。在綁定過程中利用密封裝置使得兩段靶材間保持密封，從而低熔點金屬不致流失。采用這種方式進行綁定，在依次綁定各個靶管的過程中，內加熱器長期保持加熱狀態，要制成大尺寸靶材，需要綁定多個靶管，因此背管與靶管之間的空腔充填了很多銦焊料，這會導致銦焊料由于重力沖破密封裝置，導致焊料泄漏，而使得綁定失敗。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對現有技術的現狀提供一種能夠防止焊料在綁定過程中沖破密封裝置的旋轉靶材垂直綁定裝置。

本發明所要解決的另一個技術問題是提供一種應用前述綁定裝置的靶材綁定方法。

本發明解決上述技術問題所采用的技術方案為：該種旋轉靶材的垂直綁定裝置，包括襯管、分段套設在襯管上的至少兩個靶管、所述襯管內設有內加熱裝置，所述靶管外設有外加熱裝置；所述內加熱裝置沿所述襯管的延伸方向分為獨立控制的多個加熱段，所述加熱段與所述靶管一一對應設置；所述外加熱裝置與所述靶管一一對應設置，每個所述外加熱裝置均為獨立控制。

為了便于進行溫度控制，每個所述加熱段與第一溫控器對應連接，每個所述外加熱裝置與第二溫控器對應連接。

優選的，所述內加熱裝置包括加熱絲卷繞而成的加熱棒，以及套設在所述加熱棒外的導熱套。通過導熱套進行導熱，加熱更為均勻。

優選的，所述外加熱裝置為包覆在對應的所述靶管外側的加熱套。

為了便于拆卸加熱套，在所述加熱套上設有可脫開的連接結構。

為了便于脫扣連接結構，所述連接結構為對應設置在所述加熱套兩端的公魔術貼和母魔術貼。

優選的，所述加熱段長度為20-600mm，進一步優選的為200-300mm。

當生產大尺寸靶材時，內加熱裝置的長度不足，為了便于提起內加熱裝置對于襯管上端進行加熱，所述內加熱裝置的上端設有拉環。

使用上述垂直綁定裝置進行綁定的綁定方法,包括以下步驟：